Point-of-Use Abgasreinigung mit AQUABATE (wet)

Auf der Grundlage der Nasswäscher-Technologie hat DAS Environmental Expert die AQUABATE-Produktlinie entwickelt, die sehr flexibel und kundenspezifisch wasserlösliche Schadstoffe aus Prozessabgasen am Point-of-Use entfernt. Zu den typischen Gasen zählen bspw. Chlorwasserstoff, Chlorsilane, Ammoniak und Abbauprodukte aus Ätzprozessen.

Abgasreinigung - AQUABATE

Abgaswäscher AQUABATE

AQUABATE Nasswäscher sind sehr kompakt und wartungsfreundlich. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Sie benötigen nur kleine Stellflächen und sind kostengünstig. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.

Funktionsprinzip der AQUABATE-Abgaswäscher

Die Schadgase einer vorgeschalteten Prozessanlage werden über bis zu vier Einlässe in den Wäscher geleitet. Die Gase gelangen in einen speziell konstruierten Einlass, der Partikelablagerungen vermeidet. Anschließend wird der Schadgasstrom im Gleich- oder Gegenstromprinzip mittels eines Füllkörper- oder Sprühwäschers gereinigt. Das Entfernen wasserlöslicher Komponenten aus dem Schadgasstrom erfolgt mittels physikalischer Absorption in Wasser. Zur Verbesserung der Effizienz können der Waschflüssigkeit Chemikalien zugesetzt werden. Je nach Konfiguration durchströmt das Gas ein oder zwei Waschstufen. Nach dem letzten Absorptionsschritt werden mitgerissene Waschflüssigkeitstropfen mittels eines Tropfenabscheiders aus dem Reingasstrom entfernt. Die Steuerung der Anlage erfolgt vollautomatisch über eine speicherprogrammierbare Steuerung und erfüllt die sicherheitstechnischen Ansprüche der SEMI S2.

AQUABATE FLEX – Modularer Gaswäscher entfernt wasserlösliche Abgasschadstoffe

AQUABATE FLEX ist ein modularer Gaswäscher zur effizienten Abscheidung wasserlöslicher Komponenten aus Schadgasen unterschiedlichster Applikationen. Der Gaseinlass ist so konstruiert, dass Verblockungen vermieden werden. AQUABATE FLEX ist als ein- oder zweistufiger Wäscher lieferbar und kann dank des kompakten, modularen Aufbaus optimal an Kundenanforderungen angepasst werden. In Abhängigkeit der Konfiguration des Gaswäschers können Schadgaseingänge bis hin zum Eintritt in die Waschstrecke bzw. den Waschflüssigkeitsbehälter optional beheizt werden, um Probleme durch kondensierendes Gas bei der Abgaszuführung zu vermeiden. Zur Erhöhung der Wascheffizienz kann die Waschflüssigkeit optional mit Chemikalien angereichert werden.

Spezifikationen

  • In sechs Varianten verfügbar
  • Kein Verblocken
  • Geringe Standfläche

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 1165 mm x 820 mm x 1944 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: max. 4 x DN40 – DN150
  • Gasauslass: max. 2 x DN100 bzw. DN150 (applikationsabhängig)

Weitere AQUABATE-Produkte

AQUABATE EPI

AQUABATE EPI wurde speziell für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen in der Halbleiterindustrie entwickelt. Schwerpunkt ist dabei die Einhaltung hoher Sicherheitsstandards, die sich aus der Verwendung des Trägergases Wasserstoff bei diesem Prozess ergeben. Nach dem Waschverfahren wird der Wasserstoff kontrolliert auf die untere Explosionsgrenze verdünnt oder in einer nachgeschalteten Abgasreinigungsanlage verbrannt. Die Prozessabgase werden über maximal drei separate Schadgaseinlässe zugeführt. Die speziell konstruierten Einlässe reduzieren das Verblocken. Sowohl die Einlässe als auch die Zuleitungen sind optional beheizbar.

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 1020 mm x 930 mm x 1800 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: max. 3 x DN40
  • Gasauslass: DN40

AQUABATE COMBIBURN

AQUABATE COMBIBURN ist eine Kombination von AQUABATE EPI und ESCAPE PLUS. Sie ist eine spezielle Lösung für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen. Die Abgasreinigung erfolgt in drei Stufen (Beispiel-Prozess):
Der Gaswäscher AQUABATE EPI absorbiert Siliziumchloride und HCI. In der ESCAPE PLUS-Brennkammer verbrennen SiH4, GeH4 und H2. In der ESCAPE PLUS-Waschstrecke werden SiO2 und GeO2 reduziert. Es erfolgt die komplette Entsorgung aller Prozessabgase, einschließlich Wasserstoff.

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 1875 mm x 930 mm x 2070 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: max. 3 x DN40
  • Gasauslass: max. DN100

Optionen

Grundsätzlich können alle AQUABATE-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Heizung für Schadgaseinlässe und -leitungen
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2-Zertifizierung

Zertifikate