Point-of-Use Abgas­rei­ni­gung mit AQUABATE (wet)

Auf der Grund­la­ge der Nass­wä­scher-Tech­no­lo­gie hat DAS Envi­ron­men­tal Expert die AQU­ABA­TE-Pro­dukt­li­nie ent­wi­ckelt, die sehr fle­xi­bel und kun­den­spe­zi­fisch was­ser­lös­li­che Schad­stof­fe aus Pro­zess­ab­ga­sen am Point-of-Use ent­fernt. Zu den typi­schen Gasen zäh­len bspw. Chlor­was­ser­stoff, Chlor­si­la­ne, Ammo­ni­ak und Abbau­pro­duk­te aus Ätz­pro­zes­sen.

Abgas­rei­ni­gung – AQUABATE

Behand­lung von Abga­sen mit AQUABATE

AQUABATE Nass­wä­scher sind sehr kom­pakt und war­tungs­freund­lich. Der Zugang für Bedie­nung und War­tung erfolgt von der Vor­der- bzw. Rück­sei­te. Sie benö­ti­gen nur klei­ne Stell­flä­chen und sind kos­ten­güns­tig. Eine Pro­zess­kopp­lung ist sowohl zur Erhö­hung der all­ge­mei­nen Sicher­heit als auch zur Opti­mie­rung der Betriebs­kos­ten sinn­voll.

Funk­ti­ons­prin­zip der AQU­ABA­TE-Abgas­wä­scher

Die Schad­ga­se einer vor­ge­schal­te­ten Pro­zess­an­la­ge wer­den über bis zu vier Ein­läs­se in den Wäscher gelei­tet. Die Gase gelan­gen in einen spe­zi­ell kon­stru­ier­ten Ein­lass, der Par­ti­kel­ab­la­ge­run­gen ver­mei­det. Anschlie­ßend wird der Schad­gas­strom im Gleich- oder Gegen­strom­prin­zip mit­tels eines Füll­kör­per- oder Sprüh­wä­schers gerei­nigt. Das Ent­fer­nen was­ser­lös­li­cher Kom­po­nen­ten aus dem Schad­gas­strom erfolgt mit­tels phy­si­ka­li­scher Absorp­ti­on in Was­ser. Zur Ver­bes­se­rung der Effi­zi­enz kön­nen der Wasch­flüs­sig­keit Che­mi­ka­li­en zuge­setzt wer­den. Je nach Kon­fi­gu­ra­ti­on durch­strömt das Gas ein oder zwei Wasch­stu­fen. Nach dem letz­ten Absorp­ti­ons­schritt wer­den mit­ge­ris­se­ne Wasch­flüs­sig­keits­trop­fen mit­tels eines Trop­fen­ab­schei­ders aus dem Rein­gas­strom ent­fernt. Die Steue­rung der Anla­ge erfolgt voll­au­to­ma­tisch über eine spei­cher­pro­gram­mier­ba­re Steue­rung und erfüllt die sicher­heits­tech­ni­schen Ansprü­che der SEMI S2.

AQUABATE FLEX – Modu­la­rer Gas­wä­scher ent­fernt was­ser­lös­li­che Abgas­schad­stof­fe

AQUABATE FLEX ist ein modu­la­rer Gas­wä­scher zur effi­zi­en­ten Abschei­dung was­ser­lös­li­cher Kom­po­nen­ten aus Schad­ga­sen unter­schied­lichs­ter Appli­ka­tio­nen. Der Gas­ein­lass ist so kon­stru­iert, dass Ver­blo­ckun­gen ver­mie­den wer­den. AQUABATE FLEX ist als ein- oder zwei­stu­fi­ger Wäscher lie­fer­bar und kann dank des kom­pak­ten, modu­la­ren Auf­baus opti­mal an Kun­den­an­for­de­run­gen ange­passt wer­den. In Abhän­gig­keit der Kon­fi­gu­ra­ti­on des Gas­wä­schers kön­nen Schad­gas­ein­gän­ge bis hin zum Ein­tritt in die Wasch­stre­cke bzw. den Wasch­flüs­sig­keits­be­häl­ter optio­nal beheizt wer­den, um Pro­ble­me durch kon­den­sie­ren­des Gas bei der Abgas­zu­füh­rung zu ver­mei­den. Zur Erhö­hung der Waschef­fi­zi­enz kann die Wasch­flüs­sig­keit optio­nal mit Che­mi­ka­li­en ange­rei­chert wer­den.

Spe­zi­fi­ka­tio­nen

  • In sechs Vari­an­ten ver­füg­bar
  • Kein Ver­blo­cken
  • Gerin­ge Stand­flä­che

Tech­ni­sche Daten

  • Grö­ße (B x T x H): 1165 mm x 820 mm x 1944 mm
  • War­tungs­flä­che vor und hin­ter der Anla­ge
  • Gas­ein­läs­se: max. 4 x DN40 – DN150
  • Gas­aus­lass: max. 2 x DN100 bzw. DN150 (appli­ka­ti­ons­ab­hän­gig)

Wei­te­re AQU­ABA­TE-Pro­duk­te

AQUABATE EPI

AQUABATE EPI wur­de spe­zi­ell für die Ent­sor­gung von Epi­ta­xie-Pro­zes­sen in der Halb­lei­ter­indus­trie ent­wi­ckelt. Schwer­punkt ist dabei die Ein­hal­tung hoher Sicher­heits­stan­dards, die sich aus der Ver­wen­dung des Trä­ger­ga­ses Was­ser­stoff bei die­sem Pro­zess erge­ben. Nach dem Wasch­ver­fah­ren wird der Was­ser­stoff kon­trol­liert auf die unte­re Explo­si­ons­gren­ze ver­dünnt oder in einer nach­ge­schal­te­ten Abgas­rei­ni­gungs­an­la­ge ver­brannt. Die Pro­zess­ab­ga­se wer­den über maxi­mal drei sepa­ra­te Schad­gas­ein­läs­se zuge­führt. Die spe­zi­ell kon­stru­ier­ten Ein­läs­se redu­zie­ren das Ver­blo­cken. Sowohl die Ein­läs­se als auch die Zulei­tun­gen sind optio­nal beheiz­bar.

Tech­ni­sche Daten

  • Grö­ße (B x T x H): 1020 mm x 930 mm x 1800 mm
  • War­tungs­flä­che vor und hin­ter der Anla­ge
  • Gas­ein­läs­se: max. 3 x DN40
  • Gas­aus­lass: DN40

AQUABATE COMBIBURN

AQUABATE COMBIBURN ist eine Kom­bi­na­ti­on von AQUABATE EPI und ESCAPE PLUS. Sie ist eine spe­zi­el­le Lösung für die Ent­sor­gung von Epi­ta­xie-Pro­zes­sen. Die Abgas­rei­ni­gung erfolgt in drei Stu­fen (Bei­spiel-Pro­zess):
Der Gas­wä­scher AQUABATE EPI absor­biert Sili­zi­um­chlo­ri­de und HCI. In der ESCAPE PLUS-Brenn­kam­mer ver­bren­nen SiH4, GeH4 und H2. In der ESCAPE PLUS-Wasch­stre­cke wer­den SiO2 und GeO2 redu­ziert. Es erfolgt die kom­plet­te Ent­sor­gung aller Pro­zess­ab­ga­se, ein­schließ­lich Was­ser­stoff.

Tech­ni­sche Daten

  • Grö­ße (B x T x H): 1875 mm x 930 mm x 2070 mm
  • War­tungs­flä­che vor und hin­ter der Anla­ge
  • Gas­ein­läs­se: max. 3 x DN40
  • Gas­aus­lass: max. DN100

Optio­nen

Grund­sätz­lich kön­nen alle AQU­ABA­TE-Anla­gen wie folgt optio­nal aus­ge­stat­tet wer­den:

  • Strom­ver­sor­gung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Hei­zung für Schad­gas­ein­läs­se und ‑lei­tun­gen
  • Pro­zess-Tool-Inter­face
  • Signal­am­pel
  • Tropf­wan­ne
  • Erd­be­ben-Sicher­heits­set
  • Moni­to­ring
  • SEMI S2-Zer­ti­fi­zie­rung

Zer­ti­fi­ka­te