Effi­zi­en­te Abgas­rei­ni­gung für die LED Indus­trie

Bei der Her­stel­lung von Pro­duk­ten auf Basis der inno­va­ti­ven light emit­ting diode (LED)-Technologie wer­den Ammo­ni­ak und Was­ser­stoff in gro­ßen Men­gen als Pro­zess­ga­se ein­ge­setzt. DAS bie­tet Kun­den aus der LED-Indus­trie Lösun­gen zur umwelt­scho­nen­den Rei­ni­gung für die­se Pro­zess­ab­ga­se.

Siche­re LED-Pro­duk­ti­on mit Anla­gen von DAS

 

Die LED-Indus­trie gehört seit Jah­ren zu den rasant wach­sen­den Hoch­tech­no­lo­gie­märk­ten. Nach der LED-Hin­ter­leuch­tung für klei­ne LC-Dis­plays von Mobil­te­le­fo­nen und LC-Dis­plays gro­ßer Bild­schir­me auf dem Fern­seh­markt ist der aktu­el­le Wachs­tums­markt die Beleuch­tungs­in­dus­trie. 

Ein sol­cher Mas­sen­markt für LEDs bedeu­tet aber auch stei­gen­de Emis­sio­nen, die mit spe­zi­el­len Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen am Point-of-Use behan­delt wer­den müs­sen. Die Umwelt­spe­zia­lis­ten der DAS haben die­sen Markt­trend erkannt und umwelt­freund­li­che Lösun­gen, wie bspw. den Bren­ner LARCH für MOCVD-Pro­zes­se, ent­wi­ckelt.

Effi­zi­en­te Rei­ni­gung von Was­ser­stoff und Ammo­ni­ak

Die Exper­ten der DAS bie­ten spe­zi­ell für die metall­orga­ni­sche che­mi­sche Gas­pha­sen­ab­schei­dung (metal-orga­nic che­mi­cal vapour depo­si­ti­on –  MOCVD), die typi­scher­wei­se in der LED-Indus­trie zum Ein­satz kommt, die Bren­ner-Pro­dukt­fa­mi­lie LARCH an. Bei die­sem Beschich­tungs­pro­zess fal­len vor allem Ammo­ni­ak und Was­ser­stoff an.

 

Bei die­ser Point-of-Use-Anla­ge erfolgt zunächst die ther­mi­sche Auf­spal­tung des Ammo­niaks durch Reak­ti­ons­wär­me. Anschlie­ßend wird der Was­ser­stoff an elek­trisch beheiz­ten Heiz­ele­men­ten gezün­det und ver­brannt. Die Reak­ti­ons­wär­me wird in einem nach­ge­schal­te­ten Wär­me­tau­scher abge­führt. Damit steht eine ele­gan­te Lösung zur Ent­sor­gung gro­ßer Men­gen von Pro­zess­ab­ga­sen in der LED-Pro­duk­ti­on zur Ver­fü­gung. 

Das mit­hil­fe der DAS-Tech­no­lo­gie gerei­nig­te Gas kann pro­blem­los in die Umge­bung abge­ge­ben wer­den. Sen­so­ren und eine Viel­zahl von red­un­dan­ten Sicher­heits­ein­rich­tun­gen garan­tie­ren einen sta­bi­len und siche­ren Betrieb. Das Ver­fah­ren setzt auf ein ein­fa­ches Prin­zip, und kann den­noch wirt­schaft­lich nied­ri­ge Emis­si­ons­wer­te errei­chen. Damit ist es in der Lage, die bis­her genutz­te Nass­wä­sche abzu­lö­sen, bei der gro­ße Men­gen Ammo­ni­ak-Lösung anfal­len. Es ist auch deut­lich umwelt­freund­li­cher.