Effiziente Abgasreinigung für die LED Industrie
Sichere LED-Produktion mit Anlagen von DAS
Bei der Herstellung von Produkten auf Basis der innovativen light emitting diode (LED)-Technologie werden Ammoniak und Wasserstoff in großen Mengen als Prozessgase eingesetzt. DAS bietet Kunden aus der LED-Industrie Lösungen zur umweltschonenden Reinigung für diese Prozessabgase. Die LED-Industrie gehört seit Jahren zu den rasant wachsenden Hochtechnologiemärkten. Nach der LED-Hinterleuchtung für kleine LC-Displays von Mobiltelefonen und LC-Displays großer Bildschirme auf dem Fernsehmarkt ist der aktuelle Wachstumsmarkt die Beleuchtungsindustrie.
Ein solcher Massenmarkt für LEDs bedeutet aber auch steigende Emissionen, die mit speziellen Abgasreinigungsanlagen am Point-of-Use behandelt werden müssen. Die Umweltspezialisten der DAS haben diesen Markttrend erkannt und umweltfreundliche Lösungen, wie bspw. den Brenner LARCH für MOCVD-Prozesse, entwickelt.
Effiziente Reinigung von Wasserstoff und Ammoniak
Die Experten der DAS bieten speziell für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (metal-organic chemical vapour deposition – MOCVD), die typischerweise in der LED-Industrie zum Einsatz kommt, die Brenner-Produktfamilie LARCH an. Bei diesem Beschichtungsprozess fallen vor allem Ammoniak und Wasserstoff an.
Bei dieser Point-of-Use-Anlage erfolgt zunächst die thermische Aufspaltung des Ammoniaks durch Reaktionswärme. Anschließend wird der Wasserstoff an elektrisch beheizten Heizelementen gezündet und verbrannt. Die Reaktionswärme wird in einem nachgeschalteten Wärmetauscher abgeführt.
Damit steht eine elegante Lösung zur Entsorgung großer Mengen von Prozessabgasen in der LED-Produktion zur Verfügung. Das mithilfe der DAS-Technologie gereinigte Gas kann problemlos in die Umgebung abgegeben werden. Sensoren und eine Vielzahl von redundanten Sicherheitseinrichtungen garantieren einen stabilen und sicheren Betrieb. Das Verfahren setzt auf ein einfaches Prinzip, und kann dennoch wirtschaftlich niedrige Emissionswerte erreichen. Damit ist es in der Lage, die bisher genutzte Nasswäsche abzulösen, bei der große Mengen Ammoniak-Lösung anfallen. Es ist auch deutlich umweltfreundlicher.
