Zuverlässige Abgasreinigung für die TFT-Industrie

Bei der Herstellung von TFT-Displays fallen Abgase an, die Reste verschiedener Ätzgase und der eingesetzten Prozessgase Silan, Ammoniak und Stickoxid an. Einige dieser Substanzen wirken stark ätzend, sind giftig und/oder leicht entzündbar und müssen unmittelbar und effizient behandelt werden. Die DAS bietet ihren Kunden wirksame Lösungen für die Abgasreinigung an.

Sichere TFT-Produktion mit Abgasreinigungsanlagen von DAS

 

Bei der Herstellung von TFT-Displays fallen Abgase an. Sie entstehen beispielsweise bei den Prozessen, mit denen auf großformatigen Glassubstraten Dünnschicht-Transistoren (Thin Film Transistors – TFT) erzeugt werden. Dazu werden, mit Prozessen wie der chemischen Dampfphasen-Abscheidung (Chemical Vapour Deposition – CVD), die entsprechenden dünnen Schichten auf dem Material abgeschieden.

Dabei ist in regelmäßigen Abständen die Reinigung der Prozesskammer erforderlich. Sie erfolgt durch einen Ätzvorgang mit NF3. Zum Ätzen der abgeschiedenen Dünnschichten werden typischerweise CF4, SF6 und chlorhaltige Gase verwendet. Im Ergebnis fallen große Mengen Abgasgemische an, welche mit Brenner/Wäscher-Systemen oder Elektrostatischen Filtern behandelt werden können.

Gefährliche Abgase zuverlässig behandeln

 

Die in den Produktionsprozessen der TFT-Industrie entstehenden Abgase enthalten Ätzgase und Reste der Prozessgase Silan SiH4, Ammoniak NH3 und Stickoxid N2O. Solche Abgase stellen daher oftmals erhebliche Risiken für die Umwelt, aber auch für die Sicherheit von Produktionsstätten dar. Insbesondere durch die Zusammenführung verschiedener Abgase in zentralen Abgassystemen von Fabriken können leicht entzündliche bzw. explosive Gasgemische entstehen. Das birgt große Gefahr und ist deshalb unbedingt zu vermeiden. Aggressive Abgase können zudem die Korrosion von Pumpen, Ventilen und Rohrleitungen erheblich beschleunigen und so die Betriebssicherheit gefährden. Sind im Abgasstrom Partikel enthalten, können sie sich in Rohrleitungen ablagern und diese zusetzen. Das führt zu erhöhtem Wartungsaufwand und möglicherweise sogar zum Stillstand der Produktion.

 

Mit den Anlagen der DAS Environmental Expert GmbH werden die Abgase aus den Prozessen der TFT-Produktion direkt am Ort ihrer Entstehung („Point-of-Use“) gereinigt. Dabei werden die gefährlichen Substanzen zuverlässig entsorgt. Speziell für die TFT-Industrie hat DAS Lösungen entwickelt, die die größeren Abgasvolumina sicher bewältigen. Die Abluft erfüllt die behördlichen Anforderungen und kann über das Dach abgeblasen werden.

Die Entsorgungslösungen der DAS Environmental Expert GmbH basieren auf einem flexiblen, integrierten Anlagenkonzept. Die kleinsten Anlagen passen komplett in einen Schrank mit weniger als 1x1 qm Grundfläche. Sämtliche Anlagen arbeiten voll automatisiert und sensorgesteuert. Sie erfüllen höchste, zertifizierte Sicherheitsstandards.