Zuver­läs­si­ge Abgas­rei­ni­gung für die TFT-Indus­trie

Bei der Her­stel­lung von TFT-Dis­plays fal­len Abga­se an, die Res­te ver­schie­de­ner Ätz­ga­se und der ein­ge­setz­ten Pro­zess­ga­se Silan, Ammo­ni­ak und Stick­oxid an. Eini­ge die­ser Sub­stan­zen wir­ken stark ätzend, sind gif­tig und/oder leicht ent­zünd­bar und müs­sen unmit­tel­bar und effi­zi­ent behan­delt wer­den. Die DAS bie­tet ihren Kun­den wirk­sa­me Lösun­gen für die Abgas­rei­ni­gung an.

Siche­re TFT-Pro­duk­ti­on mit Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen von DAS

 

Bei der Her­stel­lung von TFT-Dis­plays fal­len Abga­se an. Sie ent­ste­hen bei­spiels­wei­se bei den Pro­zes­sen, mit denen auf groß­for­ma­ti­gen Glas­sub­stra­ten Dünn­schicht-Tran­sis­to­ren (Thin Film Tran­sis­tors – TFT) erzeugt wer­den. Dazu wer­den, mit Pro­zes­sen wie der che­mi­schen Dampf­pha­sen-Abschei­dung (Che­mi­cal Vapour Depo­si­ti­on – CVD), die ent­spre­chen­den dün­nen Schich­ten auf dem Mate­ri­al abge­schie­den.

Dabei ist in regel­mä­ßi­gen Abstän­den die Rei­ni­gung der Pro­zess­kam­mer erfor­der­lich. Sie erfolgt durch einen Ätz­vor­gang mit NF3. Zum Ätzen der abge­schie­de­nen Dünn­schich­ten wer­den typi­scher­wei­se CF4, SF6 und chlor­hal­ti­ge Gase ver­wen­det. Im Ergeb­nis fal­len gro­ße Men­gen Abgas­ge­mi­sche an, wel­che mit Brenner/Wäscher-Sys­te­men oder Elek­tro­sta­ti­schen Fil­tern behan­delt wer­den kön­nen.

Gefähr­li­che Abga­se zuver­läs­sig behan­deln

 

Die in den Pro­duk­ti­ons­pro­zes­sen der TFT-Indus­trie ent­ste­hen­den Abga­se ent­hal­ten Ätz­ga­se und Res­te der Pro­zess­ga­se Silan SiH4, Ammo­ni­ak NH3 und Stick­oxid N2O. Sol­che Abga­se stel­len daher oft­mals erheb­li­che Risi­ken für die Umwelt, aber auch für die Sicher­heit von Pro­duk­ti­ons­stät­ten dar. Ins­be­son­de­re durch die Zusam­men­füh­rung ver­schie­de­ner Abga­se in zen­tra­len Abgas­sys­te­men von Fabri­ken kön­nen leicht ent­zünd­li­che bzw. explo­si­ve Gas­ge­mi­sche ent­ste­hen. Das birgt gro­ße Gefahr und ist des­halb unbe­dingt zu ver­mei­den. Aggres­si­ve Abga­se kön­nen zudem die Kor­ro­si­on von Pum­pen, Ven­ti­len und Rohr­lei­tun­gen erheb­lich beschleu­ni­gen und so die Betriebs­si­cher­heit gefähr­den. Sind im Abgas­strom Par­ti­kel ent­hal­ten, kön­nen sie sich in Rohr­lei­tun­gen abla­gern und die­se zuset­zen. Das führt zu erhöh­tem War­tungs­auf­wand und mög­li­cher­wei­se sogar zum Still­stand der Pro­duk­ti­on.

 

Mit den Anla­gen der DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH wer­den die Abga­se aus den Pro­zes­sen der TFT-Pro­duk­ti­on direkt am Ort ihrer Ent­ste­hung („Point-of-Use“) gerei­nigt. Dabei wer­den die gefähr­li­chen Sub­stan­zen zuver­läs­sig ent­sorgt. Spe­zi­ell für die TFT-Indus­trie hat DAS Lösun­gen ent­wi­ckelt, die die grö­ße­ren Abgas­vo­lu­mi­na sicher bewäl­ti­gen. Die Abluft erfüllt die behörd­li­chen Anfor­de­run­gen und kann über das Dach abge­bla­sen wer­den.

Die Ent­sor­gungs­lö­sun­gen der DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH basie­ren auf einem fle­xi­blen, inte­grier­ten Anla­gen­kon­zept. Die kleins­ten Anla­gen pas­sen kom­plett in einen Schrank mit weni­ger als 1x1 qm Grund­flä­che. Sämt­li­che Anla­gen arbei­ten voll auto­ma­ti­siert und sen­sor­ge­steu­ert. Sie erfül­len höchs­te, zer­ti­fi­zier­te Sicher­heits­stan­dards.