Kostenreduzierung bei Silizium-Dünnschicht-Solarzellen-Produktionslinie

Aufgrund des Drucks zur Kostenreduzierung in einer Dünnschicht-Solarzellen-Fertigung wurde der Versuch gestartet, die laufenden Kosten der Abgasentsorgungssysteme zu reduzieren.

Verbesserungen der Abgasbehandlung

Voraussetzung bei der Umsetzung war, dass die DRE (Destruction Removal Efficiency) nicht reduziert wird. Verbesserungen für Wartung und Medienverbräuche wurden vor Ort unter Produktionsbedingungen über einen Zeitraum von sechs Monaten getestet.

Aufbau der Dünnschicht-Solarzellen-Fertigung in Baoding Tianwei

Die a-Si/μc-Si CVD-Prozess-Tools verwenden große Mengen an SiH4, H2 und NF3 sowie TMB und PH3 als Dotiergase. Die Prozessgase sind pyrophor, explosiv oder schädlich für die Umwelt. Deshalb werden die Prozessabgase durch Brenner/Wäscher – Systeme mit nachgeschaltetem, elektrostatischen Staubabscheider am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use)  entsorgt.  Jeden Tag werden etwa 100 kg SiO2 Staub und 180 kg HF erzeugt und in den Abgasentsorgungssystemen behandelt. Die Abgase aus den TCO-Tools enthalten DEZ, ZnO-Partikel und Kohlenwasserstoffe. Jedes TCO-Tool ist mit einem Brenner/Wäscher- Abgasentsorgungssystem verbunden, welches die brennbaren Verbindungen oxidiert und Partikel abscheidet.

Kostenreduzierung bei der Wartung: Hauptursachen und erzielte Verbesserungen

Planmäßige Wartung Abgasentsorgung

KAI – Abgasbehandlung mit GIANT/EDC

  • Partikelablagerungen im Reaktor und in den Anschlussleitungen zum elektrostatischen Staubabscheider
    • Ablagerungen im Reaktor waren viel geringer als erwartet → Wartungsintervall wurde verlängert
    • Zusätzlicher selbstreinigender und wartungsfreier Vorfilter vor der Anschlussleitung → keine Wartung der
      Anschlussleitung mehr erforderlich
  • Sedimentation der Partikel im Kreislaufbehälter → wird durch erhöhten Durchfluss/Rühren der Waschflüssigkeit verhindert
  • Salzkrustenbildung stellte sich als Hauptursache für Ausfälle heraus → komplett beseitigt durch kleine Änderungen im Tank

 

ESCAPE – Wartungsintervalle vor Beginn des Tests gleichen denen der TCO-Tools

  • Maßnahme: Verlängerung der Wartungsintervalle
  • Ergebnis: keine negativen Auswirkungen auf die Verfügbarkeit der Anlage
  • Betriebskosten-Einsparungen an Point-of-Use Abgasentsorgungssystemen

Betriebskosten-Einsparungen an Point-of-Use Abgasentsorgungssystemen

Abgasentsorgungssystem GIANT

  • Optimierung des pH-Regimes → Reduzierung des Laugeverbrauchs
  • Vermeidung von Sedimentation und verbesserte Filtration der Waschflüssigkeit → höhere Konzentration von Partikeln in der Flüssigkeit möglich, Wassereinsparung

 

Abgasentsorgungssystem ESCAPE

  • Reduzierter Wasserverbrauch → keine negativen Auswirkungen

 

Fazit Kostensenkungsmaßnahmen bei Abgasbehandlung

Durch einfache, aber konsequente Verbesserungen können die laufenden Kosten der Abgasentsorgungssysteme deutlich reduziert werden.

DAS Headquarter in Dresden

Ihr Ansprechpartner zum Thema Abgasbehandlung in der Solarindustrie:

Frau Juliette Cavaillier/Herr Falk Allmrodt
Key Account Manager

+49 0351 40494 – 400