Best in Class Abatement System: DAS Environmental Experts übertrifft SEMI SCC Benchmarks für Treibhausgase
DAS Environmental Experts bekräftigt seine Führungsrolle in der nachhaltigen Emissionskontrolle für die Halbleiterindustrie – unabhängige Validierungsergebnisse zeigen, dass das Abatement-System TILIA eine Zerstörungs- und Entfernungseffizienz (DRE) von über 99,9 % für CF₄ und andere fluorierte Treibhausgase erreicht. Diese Leistung übertrifft die im SEMI SCC Whitepaper „Overview of FGHG and Nitrous Oxide Semiconductor Abatement Technologies“ (2024) definierten Zielwerte, die neue Branchenbenchmarks mit einer Mindest-DRE von >95 % und einem angestrebten Wert von >99 % festlegen. TILIA beweist, dass noch höhere Wirkungsgrade nicht nur technisch erreichbar, sondern auch mit konkreten Vorteilen in Bezug auf Nachhaltigkeit und Wirtschaftlichkeit verbunden sind.
„Systeme wie TILIA zeigen, dass es nicht nur möglich, sondern auch wirtschaftlich sinnvoll ist, die aktuellen Branchenstandards zu übertreffen“, sagt Stephan Raithel, Chief Operating Officer Gas Treatment bei der DAS Environmental Expert GmbH. „Angesichts steigender CO₂-Abgaben und zunehmend strenger Nachhaltigkeitsziele führen Investitionen in hocheffiziente Abscheidungssysteme direkt zu betrieblichen und finanziellen Vorteilen.“
Die globale Halbleiterindustrie emittiert jährlich Tausende Tonnen CF₄, ein Gas mit einem Global Warming Potential (GWP) von 7 390. Während die derzeitige Praxis häufig darauf abzielt, die von der SCC empfohlenen Mindestwerte für DRE zu erfüllen, werden nur Abgasbehandlungssysteme, die dauerhaft über 99,9 % erreichen, der Branche ermöglichen, ihre Net-Zero-Ziele zu erreichen.
Das SEMI-SCC-Whitepaper unterstreicht, dass das Erreichen dieser sehr hohen Wirkungsgrade entscheidend für die Nachhaltigkeitsstrategie der Branche ist und den breiten Einsatz von Abscheidungstechnologien der nächsten Generation erfordert. Mit TILIA setzt DAS Environmental Experts einen neuen Industriestandard – durch eine nachgewiesene „Best-in-Class“-Leistung, die Halbleiterherstellern weltweit ermöglicht, ihren Treibhausgas-Fußabdruck drastisch zu reduzieren.
