Effi­zi­en­tes Was­ser­ma­nage­ment in der Halbleiterindustrie

​Was­ser als kri­ti­scher Produktionsfaktor

Die Halb­lei­ter­indus­trie ist ein maß­geb­li­cher Trei­ber der Digi­ta­li­sie­rung und einer res­sour­cen­ef­fi­zi­en­ten Wirt­schaft. Auf­grund des enor­men Was­ser­ver­brauchs in der Fer­ti­gung stei­gen mit jeder neu­en Pro­duk­ti­ons­stät­te die Anfor­de­run­gen an ein moder­nes und nach­hal­ti­ges Was­ser­ma­nage­ment – ins­be­son­de­re in was­ser­ar­men Regio­nen wie Tai­wan, Sin­ga­pur, Texas oder Ari­zo­na (USA). Die Bran­che sieht sich einer­seits wach­sen­dem gesell­schaft­li­chen und regu­la­to­ri­schen Druck sowie stren­ge­ren ESG-Vor­ga­ben gegen­über, ande­rer­seits macht die Bedeu­tung von Was­ser als kri­ti­scher Pro­duk­ti­ons­fak­tor inno­va­ti­ve Lösun­gen unerlässlich.

​Der Was­ser­be­darf in moder­nen Halb­lei­ter­wer­ken steigt – mit Pro­gno­sen von einer Ver­vier­fa­chung bis 2030 in Euro­pa. Groß­pro­du­zen­ten wie TSMC benö­ti­gen täg­lich bis zu 99 Mil­lio­nen Liter, was die Not­wen­dig­keit effi­zi­en­ter Was­ser­kreis­läu­fe und die stei­gen­de Bedeu­tung nach­hal­ti­ger Inves­ti­tio­nen belegt.

Nach­hal­ti­ges Was­ser­ma­nage­ment wird daher zum stra­te­gi­schen Wett­be­werbs­vor­teil für die Indus­trie. Stu­di­en zei­gen, dass Deutsch­land trotz hoher Was­ser­ver­füg­bar­keit bereits heu­te lokal unter Was­ser­knapp­heit lei­det, etwa durch Dür­ren, sin­ken­de Grund­was­ser­spie­gel und Schad­stoff­ein­trä­ge wie Nitrat oder PFAS. Gleich­zei­tig nimmt der regu­la­to­ri­sche Druck durch die EU-Was­ser­rah­men­richt­li­nie, natio­na­le Vor­ga­ben und Initia­ti­ven wie den Green Deal ste­tig zu.

Was­ser­ma­nage­ment ist laut des Wis­sen­schaft­li­chen Bei­rats der Bun­des­re­gie­rung Glo­ba­le Umwelt­ver­än­de­run­gen (WBGU) nicht nur öko­lo­gisch, son­dern auch geo­po­li­tisch ent­schei­dend für Ver­sor­gungs­si­cher­heit und Stand­ort­sta­bi­li­tät. Unter­neh­men, die Was­ser als kreis­lauf­fä­hi­ge Res­sour­ce nut­zen, pro­fi­tie­ren von Recy­cling, Clo­sed-Loop-Sys­te­men und digi­ta­ler Über­wa­chung: Die­se Tech­no­lo­gien sen­ken Frisch­was­ser­be­darf, erhö­hen die Resi­li­enz und ver­bes­sern die regio­na­le Akzeptanz.

Vor allem in was­ser­in­ten­si­ven Berei­chen wie Halb­lei­ter­fer­ti­gung, E‑Mobilität und Was­ser­stoff­wirt­schaft wird das The­ma zum Stand­ort­fak­tor. Ein nach­hal­ti­ger Umgang mit Was­ser senkt Kos­ten und regu­la­to­ri­sche Risi­ken und stärkt Wett­be­werbs­fä­hig­keit sowie Innovationskraft.

OTTELIA_Subfab

OTTELIA als Point-of-Use Anla­ge in Kom­bi­na­ti­on mit Abgas­rei­ni­gung in der Subfab

Tech­no­lo­gie­lö­sun­gen von DAS Envi­ron­men­tal Experts

OTTELIA – Intel­li­gen­te Abwas­ser­auf­be­rei­tung direkt am Entstehungsort

Eine Schlüs­sel­rol­le sowohl bei der Ein­spa­rung als auch beim Recy­cling von Was­ser in der Halb­lei­ter­fer­ti­gung spielt die effi­zi­en­te Abwas­ser­be­hand­lung in der Sub­fab. OTTELIA ermög­licht die zuver­läs­si­ge Ent­fer­nung von Sili­zi­um­di­oxid-Par­ti­keln (SiO₂) aus Pro­zess­ab­wäs­sern. Die Kom­bi­na­ti­on aus Sedi­men­ta­ti­on und Fil­tra­ti­on erlaubt die direk­te Wie­der­ver­wen­dung des Was­sers in der Abgas­rei­ni­gung, redu­ziert effek­tiv den Frisch­was­ser­be­darf und senkt Betriebs­kos­ten. OTTELIA ist kom­pakt, ska­lier­bar und als Plug & Play-Sys­tem schnell ein­satz­be­reit. Damit unter­stützt DAS Envi­ron­men­tal Experts die Errei­chung unter­neh­mens­wei­ter ESG- und Nachhaltigkeitsziele.

Moving Bed Bio­film Reak­tor – Bio­lo­gi­sche Abwas­ser­be­hand­lung für fle­xi­ble Anwendungen

Mit der Moving Bed Bio­film Reak­tor (MBBR) Tech­no­lo­gie stellt DAS Envi­ron­men­tal Experts eine robus­te Lösung für die bio­lo­gi­sche Rei­ni­gung von Halb­lei­ter­ab­wäs­sern bereit. Mikro­or­ga­nis­men auf beweg­ten Trä­ger­ma­te­ria­li­en mini­mie­ren orga­ni­sche Belas­tun­gen auch bei schwan­ken­den Ein­gangs­wer­ten. Die MBBR-Sys­te­me über­zeu­gen durch ein­fa­che War­tung, modu­la­re Kapa­zi­täts­er­wei­te­rung und zuver­läs­si­ge Pro­zess­sta­bi­li­tät. Die Pro­dukt­band­brei­te reicht von der kom­pak­ten PoU-Anla­ge in der Sufab über ska­lier­ba­re MBBRs in vier Stan­dard­grö­ßen (SALVINIA) bis zur Kom­plett­lö­sung für die zen­tra­li­siert oder semi­zen­tra­li­sier­te Behand­lung gro­ßer Abwassermengen.

SALVINIA 160 Moving Bed Biofilm Reactor

​Ska­lier­ba­rer MBBR: SALVINIA

​Vom Abwas­ser zur Ressource

Die effi­zi­en­te Nut­zung und Wie­der­ver­wen­dung von Was­ser ist für die Halb­lei­ter­indus­trie sowohl eine öko­lo­gi­sche als auch eine öko­no­mi­sche Not­wen­dig­keit. Tech­no­lo­gien wie OTTELIA und MBBR sen­ken den Was­ser­ver­brauch signi­fi­kant und hel­fen Unter­neh­men, den regu­la­to­ri­schen und gesell­schaft­li­chen Anfor­de­run­gen nach­hal­tig zu begeg­nen. In Zei­ten glo­ba­ler Was­ser­knapp­heit wird die Trans­for­ma­ti­on von Abwas­ser zu einer Res­sour­ce zum ent­schei­den­den Wett­be­werbs­vor­teil. DAS Envi­ron­men­tal Experts leis­tet mit maß­ge­schnei­der­ten Sys­tem­lö­sun­gen einen sub­stan­ti­el­len Bei­trag zur res­sour­cen­ef­fi­zi­en­ten und zukunfts­fä­hi­gen Halbleiterfertigung.

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Stavrou­la (Valia) Sfaelou

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Stavrou­la (Valia) Sfaelou

Direc­tor Sales