粒子ろ過と水リサイクルのユースポイント
ハイテク産業における様々な粒子除去アプリケーション（微粉塵、金属酸化物アプリケーションなど）用のコンパクトなシステム。
膜技術による水のリサイクル
マイクロチップの製造にはさまざまな工程が必要で、その中には有害なガスや化学薬品を使用するものもあり、使用時に処理する必要がある。各工程ツールの背後には排気管があり、メインツールからの排ガスを使用箇所の排ガス処理システムに導いている。これらのシステムは通常、真空ポンプやその他の設備とともにサブファブに設置されています。一般的な廃ガス処理技術には、有害ガスの種類と量に応じて、廃ガスの燃焼と洗浄、または洗浄のみが含まれる。この処理による廃水は、通常、工場の中央廃水処理施設に送られる。
現時点では、水のリサイクルや再利用技術に対する需要が高まっているという市場からの明確なシグナルがあります。DAS Environmental Expertsは、廃ガス・廃水処理グループの専門家によるスマートなソリューションで、この要求に応えました。この新しいPoint-of-Use水処理システムは、廃ガス処理システムからの廃水から金属酸化物などの固体粒子を濾過し、廃ガス処理システムに再循環させる追加ステップで構成されています。元の廃水の最大90％を再利用できる。使用される膜技術は、最小限のサービスしか必要とせず、投資回収が早く、半導体メーカーのESGロードマップをサポートする。
DASソリューションの利点
- 淡水の消費を最小限に抑える
- 廃水の発生を最小限に抑える
- 小さなフットプリント（水リサイクルシステム）
- DASガス除去システムとのシームレスな通信
一般情報
- 各種排ガス処理システムに対応（ファインダスト、バーンウェット、ウェットスクラバー）
- 用途：ファインダスト、金属酸化物（有機金属由来）
- システムは0.05 μm以上の粒子を除去可能
- 80～90％の水リサイクル（塩濃度による）
- 設置面積：用途により異なりますが、1.75 m2から可能です。
- シームレスな受水と処理水のオンデマンドポンプオーバー
- システムには、システム設定の調整、モニタリング、システム制御用のタッチパネルが含まれます。
- オプションでリモートアクセスも可能
