用於 LED 產業的高效率廢氣處理
使用達思 DAS 的系統安全生產 LED
在生產創新型發光二極體 (LED) 技術的產品時，製程中會大量使用到氨氣和氫氣。達思 DAS 的環保工程師已意識到這一市場趨勢，並開發出用於環保處理製程氣體的新方案。多年來，LED 產業始終躋身在高科技市場的快速增長名單中。繼手機小型液晶顯示器和電視市場大螢幕液晶顯示器的 LED 背光應用後，下一個潛在的成長市場則是照明產業。
如此大規模的 LED 市場也意味著排放量的增加，需要在使用端(Point-of-Use)採用特定的廢氣處理系統來減少排放量。達思 DAS 的環保工程師已意識到這一市場趨勢，並開發出用於處理 MOCVD 製程中廢氣的 LARCH 新方案。
氫氣和氨氣的高效率處理
達思 DAS 的環保專家為 MOCVD 製程（有機金屬化學氣相沉積法 — MOCVD）專門設計了廢氣處理系統 LARCH。它既能處理大流量的氫氣和氨氣，也能處理小流量、一般 LED 製程中常見的有機金屬物和摻雜劑。.
該系統分三個步驟運轉。首先，製程廢氣通過一個特殊包裝的入口進入分解區。氨氣會在這裡分解。隨後，以電氣方式點燃氫氣、使其氧化。廢氣在反應器內燃燒、氧化。最後．廢氣經由熱交換器進行冷卻。
由於採用了達思 DAS 技術，淨化後的氣體無需進一步處理即可排放到環境中。配備多種感測器和各種備援的安全設施，保證了穩定安全的運轉。此製程原理簡單，卻能實現經濟的低排放量。因此，它不僅能夠取代以前使用、會產生大量氨氣的濕式洗滌階段，此外也更加環保。
