達思DAS Environmental Expert 的系統能可靠的處理MEMS生產中所產生的廢氣
MEMS (微機電系統 ) 是指將感測器、致動器等機械零組件與評估、通訊技術等電子模組結合在同一晶片上。增加了光學元件的 MEMS 就稱為MOEMS (微光機電系統)。達思 DAS Environmental Expert 為 MEMS 和 MOEMS 生產提供可靠的廢氣處理解決方案。
源自德勒斯登、為不斷成長的市場提供的減排技術
對於工業 4.0、自駕汽車和物聯網 (IoT) 等面向未來的技術而言，MEMS 零組件至關重要，因為它們是類比和數位世界之間的橋樑，也是數位資料處理的配電盤。
為了使這些面向未來的技術符合快速發展所需，MEMS 的市場和市占率也在不斷增長。事實上，MEMS 在汽車產業別的需求已經很大，因為它有助於提高駕駛舒適性和安全性。
為應用於自動化技術，MEMS的產量也在不斷增加。
在 MEMS 製造過程中，達思 DAS Environmental Expert 廢氣處理系統提供製造技術有效輔助。無論使用何種設備或製程，我們的減排技術都能可靠地直接從廢氣流的源點（使用端 (Point-of-Use)）去除有害物質。
使用使用端 (Point-of-Use) 廢氣處理系統可提高 MEMS 製造流程每個步驟的安全性
MEMS 的製造採用半導體產業的典型製程。例如，單晶片微系統採用微電子學的通用技術，再加上若干額外的專門製程步驟。達思 DAS Environmental Expert 自 1990 年代成立以來，始終致力為半導體產業開發、製造和安裝客製化的廢氣減排技術。我們也根據客戶需求提供系統服務與維護。
從反應濺鍍、ALD（原子層沉積）和（CVD/PECVD（化學氣相沉積／電漿輔助化學氣相沉積）等不同薄膜沉積選項中，乃至於蝕刻、結構化和晶圓清潔等各種技術，我們可為所有製程步驟提供合適的廢氣處理解決方案。我們的技術是一種靈活整合的系統概念。我們的系統占地面積小，通常可安裝在機櫃內，所需占地面積不到一平方公尺（10.8 平方英尺）。
因此，可直接在使用端 (Point-of-Use) 安全可靠地去除有害氣體和氣態混合物。透過配備獨立燃燒器和濕式（水洗）的燃燒器／濕式系統，並搭配靜電過濾器，即可去除有害物質。殘餘氣體可透過排氣系統及時排放到環境中。我們系統排出的廢氣符合所有法規要求。
我們的產品組合包括用於 MEMS 製造中所有製程的減排技術。我們的系統全自動運轉，並透過感測器進行控制。這些產品符合最高安全標準，我們榮獲的眾多相關認證足以佐證。
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