產業應用：DAS廢氣處理系統
達思DAS Environmental Expert為全球高科技產品製造業提供客製化廢氣減排設備(waste gas abatement system)，以有效的解決方案致力促進科技發展，同時守護人類健康及環境。
專為半導體產業設計的有效廢氣處理設備
許多產業及研發製程使用製程氣體，並會產生廢氣，如：晶圓清洗或蝕刻、CVD及磊晶製程等。產生的廢氣通常是溫室氣體，且具有毒性和/或高可燃性，對生產設備與環境常造成嚴重危害。
專為太陽能產業設計的廢氣處理設備
DAS在CVD、TCO和乾燥製程豐富的技術專業大幅協助了太陽能產業的客戶。我們非常熟悉薄膜模組與晶片型太陽能電池的製程，因此深知廢氣處理對於確保製程安全至關重要。
專為面板(TFT)產業打造的可靠廢氣處理設備
生產TFT/LCD顯示器同樣需要進行廢氣處理。舉例而言，在玻璃基板上製造大量薄膜電晶體(TFT)，過程需使用化學氣相沉積(Chemical Vapour Deposition，CVD)技術，以分離薄膜與材質。
專為LED產業打造的高效廢氣處理設備
LED產業近年來成長動能強勁，也代表了氣體排放量增加，因此更需透過特別的廢氣處理設備於使用端(point-of-use)進行減排。運用發光二極體(LED)技術製造產品時，則會使用大量氨和氫作為製程氣體。
專為奈米科技製造設計的廢氣處理解決方案
奈米科技製程會使用微粒，其直徑小至單原子，大至約一百奈米。由於微粒體積極小，奈米材料的特性深受其廣大表面積影響，也因此能達成預期效果，如知名的蓮花效應或是奈米碳管的高載流能力。
來自德國德勒斯登的減排技術，專為MEMS製造商研發
工業4.0、自駕車、物聯網(IoT)與MEMS零組件等均是深具未來潛力的科技，因為這些科技串接類比世界與數位世界，例如數位資料處理的配電盤。隨著這些驅動未來的科技持續發展，MEMS市場和市占率也不斷成長。