專為高科技產業所提供的廢氣處理系統

自1991年起,達思 DAS Environmental Expert便致力為全球高科技產業研發並生產客製化的使用端(Point-of-Use)廢氣處理系統。達思 DAS Environmental Expert的廢氣處理設備(DAS local scrubbers) 能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒和易自燃的氣體(例如: 矽烷、有機矽烷、松油醇、氫、氨或鹵化氫化合物)和微細粉塵。

因應不同製程及多種產品系列的使用端(Point-of-Use)廢氣處理系統

DAS達思系統的專業技術團隊來自德國德勒斯登(Dresden)與全球各地,客戶群涵蓋半導體/MEMS、太陽能、面板顯示器和LED等產業。DAS達思系統對於客戶生產製程應用具備深入且專業的了解,因此,我們深知廢氣處理於客戶生產過程影響環境安全至關重要,進而運用此專業知識為客戶提供客製化且有效的解決方案。我們為不同產業研發並生產使用端(Point-of-Use)廢氣處理設備(DAS local scrubbers)

,以處理極高流量的廢氣。我們也可依客戶需求提供整合性的廢氣處理方案,將客戶選用的真空幫浦或其他的零組件安裝在DAS的廢氣處理系統中,例如: 吸附式廢氣處理設備。另外,DAS亦提供不同技術的智慧型整合方案,客製化組成完全符合客戶製程需求的系統。我們的使用端(Point-of-Use)廢氣處理產品系列,共包含四種廢氣解決方案。

燃燒/水洗 Scrubber

達思 DAS Environmental Expert的ESCAPE系列產品可在最小空間內組合兩種廢氣處理方案: 燃燒/水洗,此技術為DAS創立至今的核心技術,並仍持續不斷地改良中。透過ESCAPE機台,廢氣在被引入環狀的燃燒器後會依廢氣不同的化學組成產生不同反應,諸如氧化作用、還原反應或高温分解,因此燃燒所產生的水溶性氣態和固態化合物,會在一系列的水洗過程中被適合的洗劑吸附並冷卻。

燃燒式Scrubber – 高溫分解

製程廢氣將於系統中的分解區燃燒(可視需求添加燃氣)。依廢氣不同的組成,在燃燒時會產生不同的反應,例如氧化作用、還原反應或高溫分解。

燃燒式Scrubber產品系列LARCH,即是針對LED產業的MOCVD製程而設計,可處理常見的大流量廢氣,如氫和氨。

水洗式Scrubber-水溶性物質

水洗式Scrubber可有效處理製程出口端廢氣中的水溶性汙染物。DAS達思系統的水洗式Scrubber主要應用於半導體產業,其為使用端(Point-of-Use, POU)的水洗廢氣處理系統。特點是在緊連接在真空幫浦之後,可預防客戶廠房廢氣系統受物質汙染和腐蝕,而且保養快速簡單。

靜電式微粒及奈米微粒清理

靜電式集塵系統是透過電場原理來處理製程廢氣中的微塵粒子,DAS靜電集塵系統能處理廢氣中內含微奈米等級粉塵與氣膠粒子,例如在面板產業(TFT)生產過程所產生的製程廢氣。

此外,我們也提供靜電冷凝式分離系統,以有效冷凝處理任何有機化合物。

 

 

廢氣處理方案之諮詢與選擇

DAS達思系統的技術應用團隊會經由評估現場實際狀況來協助客戶選擇合適的產品技術方案。無論是製程設備、真空幫浦、廢氣種類或流量,以及可使用的設備等,皆為評估的重要資訊。

系統交付之後,為確保系統長期穩定運作及設備使用,我們的客服和技術支援團隊並將即時回應客戶需求或提供現場支援服務。