STYRAX 使用端廢氣處理方案

採用燃燒/水洗處理技術的STYRAX機台系列,是特別研發以用於管理各種要求嚴苛的廢氣處理程序,例如半導體與太陽能產業的化學氣相沉積製程。系統的廠務需求供應可視需要進行調整,而加長的維護週期則更能提高系統的正常運作時間。

廢氣處理設備 – STYRAX

運用STYRAX處理廢氣

STYRAX產品系列的研發源自現代廢氣處理面臨的兩項殷切期盼 : 提升全氟化合物(PFC)減排,以及縮減維護保養週期(Reduced Maintenance Intervals)。因此,許多新技術模式也都納入達思DAS Environmental Expert旗下的產品線。目前的廢氣是透過從上到下的模式進行燃燒,清洗階段也針對氫氟酸(HF)進行了優化,使水與/或鹹液的消耗量可減至最少;而採用特殊的進氣口設計則可防止堵塞。另外,DAS達思系統並提供諸多選項,讓用戶也能著手改善其他製程的維護間隔。

STYRAX廢氣處理系統的運作原理

製程廢氣的危險物質在產生處直接進行減排(使用端)。在這項優化的燃燒/水洗處理技術中,氣體是由上到下燃燒,系統則根據廢氣的化學成分進行不同類型的反應(氧化、還原、熱分解)。液體水幕(wall)/薄膜能避免反應室受到侵蝕,以及防止廢氣中的微粒沉積在反應室內。在置於反應室旁的洗滌塔(washing column)內則將吸附可溶成分並濾下微粒,清洗液則會冷卻並中和各種易燃物,例如鹵化氫等。以整體性減量概念運用STYRAX使高科技產業製造商能符合德國當地空污法律(TA Luft)的嚴格標準。

STYRAX DUO – 具備援功能(Backup Function)的廢氣處理方案

STYRAX DUO 是DAS達思系統的標準版機種,內含兩個清洗系統可同時運作。該款經優化的系統以最多4個進氣口連結半導體與太陽能製程機台。當其中一個反應室故障或進行維護保修時,另一個反應室將立即接手處理所有廢氣(內部備援internal back-up),以確保設備達到接近100%的正常運作時間。STYRAX DUO能透過不同的燃燒氣體與清洗液運作,人員並可從設備的前方與背面拆殼進行維護。該款機種透過封閉循環設計來減少用水量。

規格

  • 每個反應室最多配置2個獨立進氣口
  • 透過備援功能(backup function)運行時間可達到99%以上
  • 第二反應室能在維護時持續運行不停機
  • 能使用不同燃燒氣體
  • 透過封閉循環設計減少用水量

 

更多產品版本不含備援功能(backup function)的系統

 

STYRAX INLINE 經優化設計,透過最多6個獨立進氣口連結半導體與太陽能製程機台。

STYRAX TWICE採用雙系統(double-system)設計,內含兩個獨立運行的燃燒/水洗系統,兩者共用控制與媒材供應線路。該款系統經優化設計,能以最多8個獨立進氣口連結半導體與太陽能製程機台。

技術資料

 STYRAX INLINESTYRAX TWICE
尺吋 (寬 x 深 x 高):1110 mm x 675 mm x 2070 mm1865 mm x 675 mm x 2070 mm
維護區:前方與背面前方與背面
氣體進口:6 個DN25 或4 個DN402 個4 DN25 或DN40
氣體出口:DN1002 個DN100

選配方案

所有STYRAX系統均提供以下設備選配方案:

  • 電源供應器:3個400 V/50 Hz或3 個 208 V/60 Hz
  • 燃燒氣體:天然氣、液化石油氣
  • 氧化劑:氧、CDA
  • 封閉循環系統:水、鹹液
  • 加熱饋線與進氣口
  • 製程機台介面
  • 警訊燈
  • 防漏盤
  • 地震安全套件
  • 監控
  • SEMI S2 認證

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