AQUABATE(濕式) 使用端廢氣處理設備

具備成熟發展的AQUABATE為一項純濕式水洗技術解決方案,能在使用端針對各種製程廢氣內含的水溶性有害物質進行彈性與客製化的減排處理。常見的廢氣包括氯化氫、氯矽烷、氨氣、以及蝕刻製程之各種分解產物。

廢氣處理設備– AQUABATE

溼式水洗器AQUABATE

AQUABATE濕式廢氣處理設備的保養程序快速且簡單,人員可從設備前方或背面拆殼維護。這款高成本效率的系統佔用空間極小,此外還可透過製程機台介面來優化運作成本與公眾安全。

AQUABATE 濕式廢氣處理設備的運作原理

製程工具的廢氣可經由4個獨立的管線輸送到廢氣處理設備,這些管線經過特別設計能防止堵塞。隨後依據填充床(packed-bed)或噴洗機(spray washer)的順流或逆流原則,利用水本身的物理吸附力去除氣流中的各種可溶成分。為了提高水洗效率,還可使用化學品來促進水洗廢液的反應。系統可設計成單階段或兩階段水洗器。在完成最後吸收步驟後,再透過除霧器(demister)去除清潔氣流中挾帶的水洗廢液水氣。該系統是透過一個可編程邏輯控制器進行自動控制,並符合SEMI S2的相關安全規範。

AQUABATE FLEX – 模組化廢氣處理設備

AQUABATE FLEX 為一款模組化濕式廢氣處理設備,能高效率處理各種應用產生廢氣所含的可溶性成分。進氣口經過特別設計,能防止堵塞。AQUABATE FLEX 推出一階段或二階段兩種水洗設備。採用輕巧與模組化設計的濕式廢氣處理設備,針對用戶的各種需求進行優化。用戶可依據水洗設備的組態,選擇將進氣口加熱到水洗階段或水洗廢液槽,避免廢氣輸送管道中氣體冷凝造成的各種問題。為提高水洗效率,可選擇使用化學品來促進水洗廢液的反應。

規格

  • 可提供6種規格變化
  • 進氣口不阻塞
  • 佔用空間極小

技術資料

  • 尺吋 (寬x深x高): 1165 mm x 820 mm x 1944 mm
  • 可從設備的前方與背面拆殼維護
  • 進氣接管:最多4個DN40 至DN150
  • 出氣接管: 2 個DN100 或DN150 (視應用而定)

更多AQUABATE 產品

AQUABATE EPI

AQUABATE EPI 特別設計用來處理半導體產業磊晶製程所產生的廢氣。該款廢氣處理設備符合相關的高標安規,包括使用氫氣作為載體氣體(carrier gas)的製程。在水洗製程之後,氫氣濃度就已稀釋到能立即排放的門檻。廢氣會經過三個獨立的入口端(connection),它們經過特別設計能防止堵塞。包括進氣口和內部管線都提供加熱系統選項。

技術資料

  • 尺吋 (寬x深x高): 1020 mm x 930 mm x 1800 mm
  • 可從設備的前方與背面拆殼維護
  • 進氣接管:最大3個DN40
  • 出氣接管:DN40

AQUABATE COMBIBURN

AQUABATE COMBIBURN 結合AQUABATE EPI 與ESCAPE PLUS 技術,這款解決方案特別設計用來處理磊晶製程的廢氣。廢氣處理分三個步驟進行(範例流程):AQUABATE EPI廢氣處理設備會吸收氯化矽與氯化氫(HCI)。甲矽烷(SiH4)、甲鍺烷(GeH4)以及氫氣(H2)則是在ESCAPE PLUS裝置內燃燒。在ESCAPE PLUS後續的水洗製程中,會吸收二氧化矽(SiO2)以及二氧化鍺(GeO2)。包括氫在內的所有製程廢氣都會完全減量。

技術資料

  • 尺吋 (寬x深x高): 1875 mm x 930 mm x 2070 mm
  • 可從設備的前方與背面拆殼維護
  • 進氣接管:最多3個DN40
  • 出氣接管:DN100

選配方案

所有AQUABATE溼式廢氣處理設備均提供以下選配方案:

  • 電源供應器:3個400 V/50 Hz或3 個 208 V/60 Hz
  • 加熱帶包括內部管路與進氣口
  • 製程設備介面連接
  • 警訊燈
  • 防漏盤
  • 地震安全套件
  • 監控
  • SEMI S2 認證

認證