MEMS 생산을 위한 혁신적 폐가스 처리 솔루션

산업 4.0, 자율주행차, 사물인터넷(IoT)과 같은 미래 지향적 기술에서 MEMS 부품은 아날로그와 디지털 세계를 연결하는 핵심 요소이자 디지털 데이터 처리의 허브로서 근본적인 중요성을 갖습니다. 이러한 미래 지향적 기술의 빠른 발전에 따라, MEMS의 시장 규모와 점유율도 지속적으로 확대되고 있습니다. 이미 MEMS는 자동차 분야에서 운전 편의성과 안전성 향상에 기여하며 높은 수요를 보이고 있으며, 자동화 기술 분야에서도 생산량이 증가하고 있습니다.

MEMS 제조 과정에서, DAS의 폐가스 처리 시스템은 제조 기술을 효과적으로 보완합니다. 장비나 공정에 관계없이, 우리의 저감 기술은 위험 물질을 발생 지점(Point-of-Use)에서 직접 안전하게 제거하여 폐가스를 처리합니다.

MEMS 제조는 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 공정을 활용합니다. 하나의 칩에 구성된 마이크로시스템은 마이크로일렉트로닉스 기술과 일부 특수 공정 단계를 결합합니다. 1990년대 설립 이후, DAS Environmental Experts는 반도체 산업 맞춤형 폐가스 저감 기술을 개발, 제조, 설치해왔으며, 고객 요청 시 시스템 유지보수 및 서비스도 제공합니다.

반응성 스퍼터링, ALD (Atomic Layer Deposition), CVD/PECVD (화학기상증착/플라즈마 보조 화학기상증착) 등 박막 증착 공정에서부터 다양한 식각, 구조화, 웨이퍼 세정 기술에 이르기까지, DAS는 모든 공정 단계에 적합한 폐가스 처리 솔루션을 제공합니다. 당사의 기술은 유연하고 통합된 시스템 개념을 기반으로 하며, 소형 설계 덕분에 일반적으로 캐비닛 내부에 설치 가능하며 1㎡ 미만의 공간만 필요합니다.

이로써 위험한 가스 및 가스 혼합물의 저감은 Point-of-Use에서 안전하고 신뢰성 있게 이루어집니다. 유해 물질은 Burner/Wet 시스템의 분리된 burner와 wet scubber, 그리고 정전식 필터의 도움으로 제거됩니다. 처리된 잔류 가스는 배출 시스템을 통해 신속하게 환경으로 방출될 수 있으며, DAS 시스템에서 배출되는 가스는 모든 규제 요건을 준수합니다.

DAS의 포트폴리오에는 MEMS 제조에 사용되는 모든 공정용 저감 기술이 포함되어 있으며, 시스템은 완전 자동화 및 센서 제어로 운영됩니다. 또한 다수의 관련 인증을 통해 입증된 최고 수준의 안전 기준을 충족합니다.