POINT-OF-USE 배기가스 처리를 위한
DAS의 포트폴리오

DAS Environmental Expert의 배기가스 처리시스템은 1991년부터 첨단산업의 공정가스를 처리하고 있으며, 이를 통해 사회의
기술발전과 사람 및 환경보호에 기여하고 있습니다.

배기가스 처리 컨셉

산업현장 배기가스 처리는 사람과 환경보호 및 생산과정의 안정성에 기여합니다. DAS Environmental Expert는 25년 이상을 이 부분에
주력하고 있습니다. DAS의 처리 컨셉은 고객맞춤형으로 기획 및
설정되며, 독일의 높은 산업기준에 따라 생산되고, 전 세계의
DAS팀이 전문적인 서비스를 제공합니다.

 

독일 드레스덴시에 위치한 본사 및 대만과 미국에 소재한 혁신센터가 자체적 개발역량을 갖추고 있으며, 이를 통해 고객과 긴밀하게
협력하고 새로운 혁신주기에 빠르게 대응하고 있습니다.
DAS의 솔루션은 최상의 품질 및 안전기준을 바탕으로
‘대기 청정 보존을 위한 기술적 지침 (TA Luft)‘의 높은 요구사항을
충족시키고 있습니다. DAS Environmental Expert는 이 모든 것을 통해 해당 분야에서 선도적 회사의 입지를 점하고 있습니다.

 

배기가스 처리를 위한 DAS의 포트폴리오 개요

산업현장의 유해한 배기가스 처리과정

마이크로칩, 태양광모듈, 평면디스플레이, LED 등의 고성능 제품 제조는 매우 복잡하고 여러 단계의
생산과정을 거칩니다. 각 세부공정에서 배기가스가 생성되며, 이 가스는 곧바로 현장에서 (Point-of-Use) 처리되어야 합니다. 관련 처리과정 및 DAS의 솔루션에 대해 더 자세히 경험해 보세요.

DAS의 산업현장 배기가스 처리장비

배기가스 처리를 위한 연소/세정기

최소한의 공간에 하나의 시스템으로 조합된 연소기와 세정기가 현장에서 발생하는 유해가스를 처리해줍니다 (Point-of-Use). 이 시스템 조합은 환경에 유해하고 위험한 여러 가지 배기가스를 처리하기 위해 DAS의 다양한 기기들에 적용됩니다.
예를 들어 반도체 분야에는 불소화합물, 암모니아, 실란 또는 수소처리에
사용됩니다.

연소기와 세정기의 조합은 환경에 유해하고 위험한 여러 가지 배기가스를 처리하기 위해 DAS의 다양한 기기들에 적용됩니다. 콤팩트한 DAS의 기기들은  설치면적이
작으며 점검 또한 아주 용이합니다. 프로세스 툴 인터페이스를 통해
전반적인 안전과 관리비용 개선을 최적화합니다.

LARCH 연소기로 LED 산업현장 배기가스 처리

LARCH는 LED 산업현장의 유기금속 화학 증착장치 (MOCVD) 공정에서 생성되는
배기가스를 세정하기 위해 (Point-of-Use) DAS의 전문가들이 개발한 연소
시스템입니다. 이를 통해 대량의 수소 및 암모니아 뿐만 아니라 소량의 유기금속
및 도펀트도 처리가능 합니다

습식 세정기로 배기가스 처리

배기가스의 수용성 유해물질은 습식 세정기를 통해 효과적으로 처리됩니다.
팹 배기공기의 오염 및 부식을 막기 위해 특히 반도체와 LED분야에서 Point-of-Use 습식 세정기가 사용됩니다. DAS Environmental Expert의 콤팩트한 습식 세정기는
높은 처리 효율성과 저렴한 구매비용이 특징입니다. 프로세스 툴 인터페이스를
통해 운영비용 최적화가 가능합니다.

정전기 필터를 이용한 배기가스 처리

정전기 필터가 전기장을 이용하여 배기가스의 입자, 에어로졸, 응축물 등을
제거합니다. 따라서 미세먼지 및 초미세먼지와 응축될 수 있는 유기화합물이
확실하고 효과적으로 제거됩니다. 필터는 점검 또한 아주 용이합니다.

배기가스 세정기 서비스 및 점검

고객지원은 높은 장비 Uptime 을 위한 필수 요인입니다. DAS Environmental Expert GmbH의
서비스 포트폴리오는 설치, 유지보수, 부품수급 관리를 총망라합니다. 전문적인
기기작동부터 지속적인 기술지원까지 아우르고 있습니다. DAS의 현지 서비스 팀은 고객을
위해 24시간 항시 또는 수요에 따라 투입될 수 있습니다. DAS의 포괄적인 내부 트레이닝
시스템은 전 세계 DAS팀의 경험을 바탕으로 하며, 이를 통해 DAS의 배기가스 처리기에 대한 능숙하고 확실한 관리가 진행됩니다.

DAS는 아래의 서비스를 제공합니다:

 

  • 전문적인 맞춤형 공정최적화, 개조 및 업그레이드
  • 예비 및 소모성 부품의 유연한 관리
  • 정확한 FTIR 측정
  • 현장 또는 DAS본사에서의 포괄적인 교육 및 트레이닝
  • 고객의 요구를 유연하게 해결하는 현장 서비스팀
  • 기기개선을 포함한 서비스와 점검의 디지털화
  • 유럽, 북미, 중국, 대만, 동남아에 각각의 지역팀

환경보호와 산업의 안전을 위한 배기가스처리

마이크로칩, 태양전지, 평면디스플레이, LED 등의 제조는 고도의 복잡한 단계로 진행되며, 유해가스가 생성됩니다. 에칭, CVD (화학증착),
에피택시, TCO (투명 전도성 산화제)층 제거와 같은 공정단계에서 화학적으로 민감한 유해물질이 생성되며, 이는 다양한 이유로 인해 즉시
처리되어야 합니다:

1. 작업장 안전 및 건강​:

사용되는 많은 공정가스들이 가연성 또는 폭발성 입니다. 특히 수소 (H2)나 실레인 (SiH4)이
여기에 속합니다. 이와 달리 다른 가스들 (COF2, HBr, F2)은 독성이며, 사람 및 자연과 접촉되기 전에 처리되어야 합니다.

2. 환경보호:

처리되어야 할 배기가스들은 대부분 환경에 유해합니다. 예로서 사불화탄소 (CF4)는
대기 중의 수명이 약 5만년입니다. 이 물질의 지구온난화지수는 이산화탄소(CO2)의
6500배 입니다.

3. 생산공정 안정성:

배기가스는 다량의 파티클(입자, 미세먼지) 이 함유 되 있습니다 입자나 미세먼지는
팹 배기가스 시스템을 중단시킬 수 있으며, 이는 의도치 않은 제조중지를 의미합니다.
10 µm 보다 작은 파티클은  세정액속에 포집되지 않고 통과하게 됩니다.

주로 배기가스 처리기는 서브팹의 진공펌프 바로 옆에 위치해 있습니다.
짧은 배기관은 진공 leakage 발생가능성과 일부 공정 배기관의  내부 응축을
방지 하기 위한heating 비용을 절감시킬 수 있습니다. 더불어 배기가스 처리 시스템 도입은
배기관의 세정 및 점검수요를 줄여줍니다.

DAS의 사례연구는 최상의 실질적 예들을 보여줍니다.