Scrubber 제품군 한눈에 보기

DAS Environmental Experts의 컴팩트형 Wet scrubber는 높은 처리 효율과 낮은 초기 투자 비용을 특징으로 합니다. 또한 공정 장비와의 인터페이스 연동을 통해 운영 비용을 최적화할 수 있습니다.

보라색 라벨에 'AQUABATE EPI'라고 적힌 대형 흰색 산업 시설의 모습

AQUABATE – Wet Scrubber 기반 폐가스 처리 솔루션

Wet Scrubber 기술을 기반으로 개발된 DAS Environmental Experts의 AQUABATE 제품군은 공정 폐가스 내 수용성 유해물질을 공정 발생 지점(Point of Use)에서 유연하고 맞춤형으로 제거합니다. AQUABATE 스크러버는 우수한 처리 효율, 컴팩트한 설치 공간, 운영 비용 절감을 동시에 실현하는 고성능 폐가스 처리 시스템입니다.

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흰색 대형 산업 시설의 앞면에는 여러 개의 환기구와 제어판이 있으며, 보라색 배경에는 'SALIX'라는 글자가 새겨져 있습니다.

SALIX – Wet Bench 공정 폐가스용 Wet Scrubber

Single wafer wet bench 공정에서 발생하는 유해 가스를 처리하기 위한 Point-of-Use(POU) 습식 스크러버 솔루션인 SALIX는 이미 수백 건의 현장 적용을 통해 성능과 안정성이 검증된 시스템입니다. 이 시스템은 공정 변경에 대한 높은 유연성을 제공하며, 기존 방식 대비 설치 면적과 클린룸 공조 부담을 동시에 절감할 수 있도록 설계되었습니다.

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