반도체 산업의 폐가스 및 폐수 처리를 위한 솔루션

첨단 반도체 생산에서는 wafer cleaning, etching, CVD and epitaxy 등 다양한 공정에서 환경적으로 중요하고 안전에 필수적인 물질이 포함된 폐가스와 폐수가 발생합니다. 이러한 가스 중 상당수는 독성, 인화성 또는 온실가스로 작용합니다. 이러한 가스가 여과되지 않고 중앙 폐가스 시스템에 유입될 경우, 침전물, 폭발성 혼합물, 그리고 생산 중단의 위험이 있습니다.

DAS Environmental Experts는 이러한 문제를 해결하기 위해 안전하고 효율적인 맞춤형 솔루션을 제공합니다 : point-of-use 폐가스 처리 시스템 – burner/scrubber 시스텝, scrubbers 및 정전기 필터 등 – 오염 물질을 발생 지점에서 직접 제거합니다.

그 결과, 입자가 없고 무해한 가스 혼합물이 생성되어 배기를 통해 안전하게 배출됩니다. 또한, 공정 중 발생하는 액체의 처리도 철저히 관리하여 일관되고 안전한 폐기 방식을 보장합니다.

수처리 및 폐수 처리 분야에서 당사는 기존 시스템 현대화부터 턴키 방식의 신규 플랜트 구축까지 반도체 산업을 위한 맞춤형 솔루션을 개발합니다. 당사의 전문가들은 귀사의 생산 요건에 맞춰 정밀하게 맞춤화된 사용 지점(POS), 준중앙집중식 및 중앙집중식 플랜트를 설계, 시공 및 운영합니다. 전 세계 산업 폐수 처리 플랜트 건설 분야에서 15년 이상의 경험을 바탕으로, 오염 물질을 법적 기준치 이하로 안정적으로 저감하는 광범위한 생물학적 및 화학적-물리적 공정 포트폴리오를 보유하고 있습니다. 모든 시스템은 모듈식으로 설계되어 최고 수준의 순도, 안전성 및 신뢰성을 충족하며, 즉시 연결 및 운영이 가능하여 귀사의 공장에서 첨단 생산과 환경 보호가 완벽하게 조화를 이룰 수 있도록 지원합니다.

• 폐수 내 화학적 산소 요구량(COD) 및 생화학적 산소 요구량(BOD)으로 측정되는 유기 오염물질 제거

• 중금속 또는 기타 독성 화합물 제거

• 화학적 기계적 연마/평탄화(CMP) 폐수 처리

• 실리콘 폐기물 처리