TSUGA – 성공 스토리

반도체 생산에서는 질소산화물(NOx)의 효율적인 제거가 매우 중요합니다. NOx는 환경과 인체에 해를 끼치는 물질로, 이를 효과적으로 처리하는 것이 지속 가능한 생산의 핵심 과제입니다.

DeNOx 공정은 촉매와 환원제를 활용해 반도체 생산 과정과 서브팹 (Sub-fab) 공정에서 발생하는 NOx를 흡수하거나 화학적으로 전환하여 대기 중으로 배출되기 전에 제거하는 기술입니다. 이를 통해 환경 오염을 줄이고 안전한 생산 환경을 확보할 수 있습니다.

DAS Environmental Experts는 효율적인 폐가스 처리를 위한 혁신적 솔루션을 고객에게 제공합니다. TSUGA는 드레스덴 공대 (TU Dresden)와 프라이베르크 광업공대 (TU Bergakademie Freiberg)와 협력하여 개발한 독립형 2차 폐가스 처리 시스템으로, 기존 Burner-Wet 시스템을 최적으로 보완하며 보다 지속 가능한 생산을 가능하게 합니다.