폐가스 처리에서 수소 활용
반도체 산업은 CO₂ 배출 감소라는 핵심 과제에 직면해 있는 동시에, 에너지 집약적이며 복잡한 제조 공정을 수행하는 산업으로서 증가하는 에너지 수요에도 대응해야 합니다.
CO₂ 무배출 수소 솔루션으로 산업 배출 급증 대응
보스턴 컨설팅 그룹(BCG)의 연구에 따르면, 반도체 생산의 성장세가 지속될 경우 연간 약 8%의 탄소 배출 증가가 예상되며, 정점은 2045년경에 도달할 것으로 전망됩니다. 그러나 주요 글로벌 반도체 제조사들은 온실가스 배출 ‘Net Zero’ 달성이라는 야심찬 목표를 설정하고 있어, 예측되는 배출 증가와 산업의 지속가능성 목표 간 격차는 반도체 산업에서 다가오는 전환 과제의 긴급성과 복잡성을 부각시킵니다.
반도체 산업은 재생에너지 전환, 생산 장비의 에너지 효율 향상, 공정 가스 배출 저감에 집중하고 있으며, 공급업체와의 긴밀한 협력을 통해 전체 가치 사슬 전반에서 배출 저감을 실현하고자 노력하고 있습니다.
특히 폐가스 처리 공정에서는 그린 수소 (Green Hydrogen)가 화석 연료를 대체하는 대안 에너지원으로 주목받고 있으며, CO₂ 배출 없는 연소가 가능하다는 점에서 지속가능한 솔루션으로 활용될 수 있습니다.
폐가스 처리에서 수소 활용의 장점
더 높은 화염 온도
수소 연소는 천연가스보다 더 높은 최고 온도를 발생시켜, PFC(Perfluorocarbons)나 삼플루오린화질소(NF₃)와 같은 복합 화합물의 분해를 효과적으로 촉진합니다.

청정 연소 생성물
수소 연소 시 물(H₂O)만 생성되며, 탄소(CO₂) 배출이 전혀 발생하지 않아 연료 가스로 인한 시스템의 탄소 발자국을 크게 줄일 수 있습니다.

DAS EE의 수소 대응 시스템
DAS Environmental Experts는 폐가스 처리 시스템에서 수소 활용을 통한 탈탄소화를 위한 혁신적인 솔루션을 제공합니다. 당사의 Burner-Wet 시스템은 그린 수소 (Green Hydrogen)로 운용 가능하여 CO₂ 배출 저감에 중요한 기여를 할 수 있습니다.
검증된 ESCAPE 및 STYRAX 제품군은 이미 수소 운용을 염두에 두고 설계되었거나, 필요 시 Retrofit이 가능하도록 제작되었습니다. 기존 시스템도 연료 가스 트레인 (Fuel Gas Train)과 일부 구성요소 교체만으로 손쉽게 업그레이드할 수 있습니다.
반도체 산업에서 그린 수소를 활용하면 CO₂ 배출을 획기적으로 줄이면서 ESG (Environmental, Social, Governance) 목표 달성과 지속가능한 제조 공정 실현이 가능합니다. DAS EE의 수소 대응 저감 시스템 (H₂-capable Abatement Systems)을 통해 고객의 지속가능하고 저탄소 생산 전환을 지원합니다. 수소 활용 분야에서 다년간의 경험을 갖춘 신뢰할 수 있는 공급업체로서, 기존 시스템의 Retrofit을 위한 안정적, 고품질 솔루션을 제공하여 Sub-Fab 전환 부담을 최소화할 수 있습니다.
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