맞춤형 폐가스 처리 컨셉 및 솔루션
폐가스 처리 장비는 인체와 환경을 보호하기 위한 핵심 법규와 기준을 충족해야 합니다. DAS Environmental Experts는 장비와 공정을 지속적으로 개선하고 혁신하여, 고객에게 더 높은 가치를 제공할 수 있는 새로운 가능성을 끊임없이 발굴하고 있습니다.
고도화된 폐가스 처리 솔루션
개별 공정에 맞는 배기 처리 컨셉은 다양한 방식으로 고도화할 수 있습니다.
설비 설치 공간 제약, 특수 소재 요구사항, 그리고 고객사의 제품 철학 등 현장 조건에 따라 환경기술에 대한 요구는 달라집니다. DAS Environmental Experts의 솔루션은 이러한 요구에 맞춰 강화된 안전성, 비용 및 에너지 절감 가능성, 최신 서비스 제공을 중심으로 최적의 대응을 제공합니다.
IPAS – 통합형 펌프 & 저감 솔루션
IPAS (Integrated Pump and Abatement Solution) 컨셉은 펌프와 폐가스 처리 장비를 하나의 캐비닛에 통합한 DAS Environmental Experts의 고도화된 솔루션입니다.
이 개념은 모든 DAS EE 폐가스 처리 시스템에 적용할 수 있으며, 고객은 원하는 펌프 제조사를 선택하고, 선택 사항으로 흡수 카트리지나 미세먼지 처리용 추가 솔루션을 통합할 수 있습니다.
펌프와 폐가스 처리 장비 간 연결 거리가 짧아지면서 누출 및 막힘 위험이 크게 줄어듭니다. 두 설비를 별도로 운영하는 경우와 비교하면 IPAS는 설치 공간을 훨씬 적게 차지하며, 단일 인터페이스로 운영되어 효율성과 안정성을 동시에 제공합니다.
강화된 안전 요구 대응 솔루션
DAS 시스템은 인화성, 부식성, 독성, 반응성 가스를 포함한 다양한 유해 폐가스를 안전하게 처리합니다. 따라서 공정 전반에서의 안전성 확보는 최우선 과제입니다.
DAS 시스템 내부에 적용된 정교한 센서 기술은 장비 상태를 실시간으로 모니터링하여 안정적인 운영을 보장합니다. 또한 고객의 요구에 맞춰 다음과 같은 다양한 맞춤형 옵션을 제공합니다:
SEMI S2 인증: SEMI S2는 반도체 제조 장비의 환경·안전·보건 기준을 정의한 글로벌 가이드라인입니다. DAS EE의 폐가스 처리 시스템은 이 기준을 충족하며, 필요 시 출하 전에 개별 장비에 대한 SEMI S2 인증도 제공합니다.
백업 기능: 유지보수 시에도 시스템이 안정적으로 작동하도록, DUO - 시스템은 가스 흐름을 두 번째 Burner로 자동 전환할 수 있도록 설계되었습니다.
IPAS-컨셉: 펌프와 폐가스 처리 장비를 하나의 시스템으로 통합해 구성 요소 간 연결을 최소화함으로써, 누출 및 막힘 위험을 크게 줄입니다.
이중 시스템 보호: 멀티챔버 공정 장비는 폐가스 처리 시스템의 용량과 안정성에 새로운 요구를 제기합니다. 이에 대한 DAS EE의 해답은 이중 구조의 TILIA 시스템입니다.고객 요구에 따라 두 시스템을 물리적으로 분리하기 위해 스테인리스 스틸 벽체를 적용하여 안정성을 더욱 강화했습니다.
기능적 안전성 향상: 신제품 개발 및 기존 제품 고도화 과정에서 DAS EE는 Safety SPS를 도입하고 있습니다. 이는 고장 안전 기술을 통합한 연속 제어 메커니즘으로, 시스템 안전성을 높이고 문제 진단과 해결 시간을 크게 단축해줍니다.
공정 안정성 향상
첨단 제조 공정은 모든 단계가 원활하게 작동하고 이상적인 처리량을 유지할 때 최고의 효율을 발휘합니다. Point-of-Use 폐가스 처리 시스템은 공정 장비와 직접 연결되기 때문에, 장비의 가동 시간은 생산성에 직접적인 영향을 미칩니다.
DAS EE의 백업 솔루션은 한쪽 Burner에 정비가 필요할 경우 가스 흐름을 자동으로 다른 Burner로 전환해 공정을 중단 없이 유지하도록 지원합니다. 이 백업 기술을 통해 DAS EE 폐가스 처리 시스템은 99.9%의 가동률을 보장합니다.
SALIX를 통한 공정 안정성 강화
이 솔루션과 더불어, DAS Environmental Experts는 최신 기술 개발을 통해 공정 안정성 향상을 적극적으로 지원하고 있습니다. Gas scrubber - SALIX 는 Single wafer wet cleaning에서 발생하는 폐가스를 처리하도록 설계된 장비입니다.
기존에는 공정 변경 시 유연성이 떨어지는 Switching box를 통해 폐가스를 각 배기 처리 장치로 분배해야 했습니다. 반면 SALIX는 단일 공정 장비의 모든 공정 챔버를 하나의 스크러버로 직접 연결하며, 이 스크러버는 하나의 중앙 배기 덕트에만 연결됩니다. 이를 통해 공정 변경 시 유연성이 대폭 향상되고, 보다 안정적이고 효율적인 배기 처리가 가능합니다.
에너지 절감 가능성
폐가스 처리 시스템의 가장 큰 에너지 절감 잠재력은 공정 장비와 폐가스 처리 장비를 직접 연동하는 데에서 비롯됩니다. 예를 들어 무전위 접점이나 이더넷으로 연결하면, 배기 처리 장비는 공정 상태에 따라 버너 용량을 조절하거나 대기 모드 (Idle Mode)로 전환할 수 있습니다.
이 개념을 적용하면 20% 이상의 에너지 절감 효과를 얻을 수 있으며, 특히 연료가스 (예: 천연가스)와 산화제 (압축 공기, CDA (Compressed Dry Air), 산소), 그리고 물, 냉각수, 알칼리용액 (lye)의 사용량을 최적화하는 데 큰 도움이 됩니다.
스마트 서비스
시스템 문제를 사전에 감지하고 고장이 발생하기 전에 최적의 해결책을 제공하는 사전 데이터 분석의 중요성이 커지고 있습니다.
DAS Environmental Experts는 고객 장비의 안정성과 효율성을 높이기 위해 다양한 사전 진단 및 데이터 분석 기반 스마트 서비스 솔루션을 개발하고 있습니다.
