AQUABATE - 수용성 오염물질의 안정적 제거
검증된 솔루션인 AQUABATE는 순수 Wet Scrubber 기술을 기반으로, 공정 폐가스 내 수용성 유해 물질을 현장 (Point-of-Use)에서 유연하고 맞춤형으로 저감할 수 있는 시스템입니다.
AQUABATE
AQUABATE Wet scrubber는 전면과 후면에서 운전 및 유지보수 접근이 가능하여 빠르고 용이한 유지보수가 가능합니다. 소형 설치 면적으로 경제적인 시스템을 제공하며, 공정 장비 인터페이스를 통해 운전 비용과 안전성을 최적화할 수 있습니다.
AQUABATE 제품군
AQUABATE EPI
AQUABATE EPI 는 반도체 산업의 Epitaxy 공정 폐가스를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 이 세정기는 공정 운반 가스로 수소를 사용할 때 요구되는 높은 안전 기준을 충족합니다. 세정 과정 후에는 수소가 안전하게 하한 폭발 농도 이하로 희석됩니다.
폐가스는 최대 3개의 독립 연결구를 통해 유입되며, 막힘을 방지하도록 특별히 설계되었습니다. 인렛과 공급 라인 모두 옵션으로 가열 시스템을 적용할 수 있습니다.
AQUABATE FLEX
AQUABATE FLEX 는 다양한 공정 폐가스에서 수용성 성분을 효율적으로 처리할 수 있는 모듈형 Wet Scrubber입니다. 가스 인렛은 막힘을 방지하도록 특별히 설계되었습니다.
AQUABATE FLEX는 1단계 또는 2단계 세정기로 제공되며, 컴팩트하고 모듈형 설계를 기반으로 고객 요구에 맞춰 최적화됩니다. 세정기 구성에 따라, 폐가스 공급에서 발생할 수 있는 응축 문제를 방지하기 위해 가스 인렛을 세정기 단계 또는 세정액 탱크까지 가열할 수 있는 옵션이 제공됩니다. 또한 세정 효율을 높이기 위해 세정액에 화학물질을 추가하는 옵션도 가능합니다.
AQUABATE로 폐가스 처리를 최적화하세요.
염화수소, 염화실란, 암모니아 및 Etching 공정에서 발생하는 분해 생성물과 같은 가스를 안정적으로 처리합니다.
AQUABATE – 기술 사양 및 구성 옵션
AQUABATE (wet)
공정 장비에서 발생하는 폐가스는 최대 4개의 독립 연결구를 통해 세정기로 유입되며, 막힘을 방지하도록 특별히 설계되었습니다. 이후 가스 흐름은 동류 또는 역류 방식으로 패킹 베드 또는 스프레이 세정기를 거쳐 정화됩니다.
가스 흐름에서 수용성 성분 제거는 물에 의한 물리적 흡수로 이루어지며, 세정 효율을 높이기 위해 세정액에 화학물질을 추가할 수 있는 옵션도 제공됩니다. 시스템은 1단계 또는 2단계 세정기로 설계 가능합니다. 마지막 흡수 단계 후에는 demister를 통해 깨끗한 가스 흐름에서 세정액 방울이 제거됩니다.
시스템은 프로그래밍 가능한 컨트롤러 (PLC)로 자동 제어되며, SEMI S2 안전 요구 사항을 충족합니다.
