LARCH – MOCVD 및 GaN 공정용 폐가스 처리 솔루션
LARCH는 MOCVD 및 EUV 공정의 사용(Point of use) 적용을 위해 특별히 개발된 제품군입니다.
LARCH – LED 및 GaN 산업의 MOCVD 공정 폐가스 Point-of-Use 처리
LARCH Dry burner는 DAS Environmental Experts가 LED, μLED, GaN의 MOCVD 공정 폐가스 및 EUV 공정 폐가스를 현장에서 처리하도록 특별히 개발한 시스템입니다.
산화와 열분해의 결합 처리 방식은 DAS의 기술 포트폴리오를 지속 가능한 방식으로 확장합니다. 낮은 투자 및 운전 비용, 단순하고 견고한 설계, 낮은 환경 영향(CO₂ 배출 없음, 최소 NOx 배출) 등이 LARCH의 특징입니다. 현재 설치 사례에서는 6개월 이상 유지보수 주기가 가능하며, 유지보수 접근은 양쪽 측면에서 모두 가능합니다. 공정 장비 인터페이스를 통해 운전 비용을 최적화할 수 있으며, 열교환기 적용으로 공정 가스의 열을 다른 생산 영역에 활용할 수 있습니다.
LARCH- Burn-Dry 시스템을 활용한 산업 공정의 효율적 처리
LARCH
LARCH는 당사의 Point-of-Use 폐가스 저감 시스템입니다. 일반적인 MOCVD 및 EUV 공정에서 발생하는 대량의 수소 및 암모니아, 소량의 금속유기화합물 및 실란을 처리할 수 있습니다. LARCH의 특징은 낮은 투자비 및 운영비, 단순하고 견고한 설계, 낮은 환경 영향(CO₂ 배출 없음, 최소 NOx 배출, 폐수 없음)입니다. 또한 유지보수 주기가 6개월 이상으로 긴 것도 장점입니다.
LARCH PLUS
LARCH PLUS는 LARCH Point-of-Use 제품군의 최신 모델로, GaN 및 EUV 공정의 대용량 처리 요구를 충족하기 위해 개발되었습니다. 이 시스템은 대량의 수소 및 암모니아, 소량의 금속유기화합물 및 실란을 효율적으로 처리할 수 있습니다. LARCH PLUS의 특징은 낮은 투자 및 운전 비용, 단순하고 견고한 설계, 낮은 환경 영향(CO₂ 배출 없음, 최소 NOx 배출, 폐수 없음)이며, 유지보수 주기가 6개월 이상으로 긴 것도 장점입니다.
LARCH로 폐가스 처리를 최적화하세요.
LED 및 GaN 산업의 MOCVD 공정에서 발생하는 폐가스의 사용 시점 처리에 최적화 되었습니다.
LARCH – 기술 사양 및 구성 옵션
LARCH (Pyrolysis)
주로 수소와 암모니아로 구성된 폐가스는 먼저 가열되어 암모니아가 열분해 (Pyrolysis) 됩니다. 이후 수소는 전기 가열 요소에 의해 점화되어 반응기 내부로 유입된 주변 공기 속 산소와 연소됩니다. 이 과정에서 발생한 반응 enthalpy는 후속 폐가스를 가열하는 데 사용됩니다.
남은 열에너지는 열교환기 또는 공기 냉각을 통해 깨끗한 가스에서 제거되며, 반응 생성물은 질소와 수증기입니다. 최종적으로 배출되는 폐가스는 독일 대기오염법(TA Luft) 기준을 충족하여 추가 처리 없이 환경으로 배출될 수 있습니다.
