TILIA – 내부 이중화 기능을 갖춘 듀얼 Burn-Wet 시스템
TILIA DUO 는 증가하는 공정 가스 유량을 효율적으로 처리하도록 설계되어, 여러 기존 폐가스 처리 시스템을 대체할 수 있습니다.
TILIA – 반도체 산업의 고급 Etch 및 CVD 공정을 위한 폐가스 처리
TILIA는 반도체 및 태양광 산업의 화학적 및 물리적 공정에서 사용되거나 공정 중 발생하는 인화성, 불화물, 유독성 또는 장기간 환경에 해로운 가스 및 반응 생성물을 처리하는 시스템입니다. 폐가스는 연소 과정을 거친 후 세정기에서 처리되며, 이 과정에서 입자는 분리되고 용해성 가스 성분은 세정액을 통해 제거됩니다.
TILIA는 설치 면적 대비 처리량 효율이 뛰어나며, 공정 장비 인터페이스를 추가로 통합하면 운전 비용을 최적화할 수 있습니다.
TILIA – 반도체 Etch 및 CVD 공정을 위한 폐가스 처리 시스템
TILIA는 반도체 및 태양광 공정에서 발생하는 자연발화성, 불소계, 독성 가스를 연소 및 스크러빙 공정을 통해 안전하게 처리합니다. 입자와 수용성 가스 성분을 효과적으로 제거하며, 컴팩트한 설계로 높은 처리 효율을 제공합니다. 또한 공정 장비 인터페이스를 통해 운영 비용 최적화가 가능합니다.
최고 수준의 저감 시스템: TILIA, SEMI SCC 온실가스 기준 초과 달성
DAS Environmental Expert GmbH는 지속 가능한 반도체 배출 관리 분야에서 선도적 위치를 다시 한번 입증했습니다. 독립 검증 결과, TILIA 폐가스 저감 시스템은 CF₄ 및 기타 불화 온실가스에 대해 파괴·제거 효율(DRE) 99.9% 이상을 달성했습니다.
이 성능은 2024년 SEMI SCC 백서 "F-GHG 및 아산화질소 반도체 저감 기술 개요"에서 정의한 최소 DRE 95% 및 목표 DRE 99%를 초과하며, 업계 새로운 기준을 제시합니다. TILIA는 기술적으로 더 높은 효율이 가능할 뿐만 아니라, 이를 통해 실질적인 지속 가능성과 경제적 이점을 제공함을 입증합니다.
안전한 폐가스 처리를 위한 Burn-Wet 기술
DAS Environmental Experts의 컴팩트한 Burn-Wet 시스템은 수십 년간 축적된 폐가스 처리 경험을 바탕으로 개발되었습니다. 공정 가스는 구성 성분에 따라 버너가 장착된 반응기에서 산화, 환원 또는 열분해 과정을 거쳐 처리되며, 이어지는 습식 스크러빙 단계에서 생성된 화합물을 안정적으로 냉각·포집합니다.
이 Point-of-use 기술은 불소 화합물, NH₃, SiH₄, H₂ 등 다양한 산업용 폐가스를 안전하고 효율적으로 처리하며, 전 세계 반도체 산업에서 활용되고 있습니다.
TILIA로 폐가스 처리를 최적화하세요.
인화성, 불화물, 유독성 또는 장기간 환경에 해로운 가스 및 반응 생성물을 효율적으로 처리합니다.
