UPTIMUM - CVD 공정 : 효율적인 폐가스 처리
UPTIMUM은 DAS Environmental Experts의 Burn-Wet 기술 포트폴리오에 속하며, 특정 CVD 공정에서 높은 가동률(Uptime) 요구를 충족하도록 특별히 설계된 시스템입니다.
UPTIMUM – Point of Use 솔루션
모든 UPTIMUM 시스템은 설치 면적이 작고, 전면과 후면에서 서비스 및 유지보수 접근이 가능합니다. 설치가 빠르고 용이하며, 별도의 전문 장비가 필요하지 않습니다. 공정 장비 인터페이스를 통해 운전 비용과 전반적인 안전성을 최적화할 수 있습니다.
UPTIMUM를 활용한 산업 공정의 효율적 처리
UPTIMUM은 다양한 산업 분야의 CVD 공정에서 최대 6개의 독립 가스 인렛을 처리하도록 최적화되었으며, 다양한 연료 가스와 세정액을 사용할 수 있습니다. UPTIMUM PLUS 는 박막 실리콘 태양광 공정의 요구 사항에 맞춰 특별히 설계된 변형으로, H₂와 NF₃(또는 F₂) 등의 가스를 더 많은 양으로 처리하면서도 시스템 가용성을 유지할 수 있습니다.
안전한 폐가스 처리를 위한 Burn-Wet 기술
DAS Environmental Experts의 컴팩트 Burn-wet 조합 시스템은 수십 년간 축적된 폐가스 처리 경험을 바탕으로 개발되었습니다. 공정 가스는 구성 성분에 따라 ring-shaped burner에서 산화, 환원 또는 열분해 과정을 거치며 처리됩니다. 이어지는 습식 스크러빙 단계에서는 발생한 화합물을 안정적으로 냉각·포집합니다. 이 사용 시점 기술은 불소 화합물, NH₃, SiH₄ 또는 H₂등 다양한 산업 폐가스를 안전하고 효율적으로 처리할 수 있도록 하며, 전 세계 반도체 산업에서 활용되고 있습니다.
UPTIMUM으로 폐가스 처리를 최적화하세요.
UPTIMUM은 다양한 산업 분야의 폭넓은 CVD 공정에 적용될 수 있도록 설계되었습니다.
UPTIMUM – 기술 사양 및 구성 옵션
UPTIMUM (burn-wet)
폐가스는 최대 6개의 독립 인렛을 통해 유입됩니다. 폐가스의 화학적 조성에 따라 산화, 환원, 열분해 등 다양한 반응이 일어납니다. 반응기 내부의 유체 벽/막은 부식과 입자 침착을 방지합니다.
반응기 옆 세정 컬럼에서는 용해성 성분이 흡수되고 입자가 현탁되며, 세정액이 hydrogen halide와 같은 연소 생성물을 냉각하고 중화합니다. UPTIMUM을 포괄적인 폐가스 저감 컨셉과 함께 적용하면, 하이테크 산업 제조업체는 독일 대기오염법(TA Luft)의 엄격한 기준을 충족할 수 있습니다.
