폐가스 처리를 위한 Burn-Wet 시스템
두 가지 작동 방식인 Burning & Scrubbing을 하나의 컴팩트한 장치에 결합함으로써, 사용 지점에서 폐가스를 안전하게 처리할 수 있습니다.
반도체 산업의 폐가스 처리
Burn-Wet 기술은 위험하고 유해한 다양한 폐가스를 처리하기 위해 여러 DAS 폐가스 저감 시스템에 적용되고 있습니다. 반도체 산업에서는 예를 들어 불소 화합물, NH₃, SiH₄ 또는 H₂ 등이 사용됩니다. 당사의 컴팩트한 솔루션은 설치 공간을 적게 차지하며 유지보수가 용이합니다. 또한 공정 장비와의 인터페이스를 통해 운영 비용과 전반적인 안전성을 최적화할 수 있습니다.
ESCAPE – 공정 폐가스 처리를 위한 기본 시스템
ESCAPE 제품군은 25년 이상 시장에서 검증된 당사의 Point-of-Use : Burner-scrubber 기술의 기반이 되는 시스템입니다. 연소(Combustion)와 습식 스크러빙(Wet Scrubbing)을 결합한 Gas Scrubber 구조로, 반도체 및 태양광 산업에서 발생하는 대부분의 공정기인성(Process-specific) 폐가스의 처리에 적합합니다. 또한 다양한 공정 매체(Media)에 대응할 수 있도록 구성 옵션이 유연하게 제공됩니다.
STYRAX – 고난도 CVD 공정 폐가스 처리를 위한 시스템
STYRAX 제품군은 반도체 및 태양광 산업의 고반응성 & 고부하 CVD 공정 폐가스를 처리하기 위해 특화된 솔루션으로 개발되었습니다. Burn-Wet 또는 Plasma-Wet 방식으로 제공되며, DAS의 어플리케이션 엔지니어가 공정 특성 및 고객 요건에 맞춰 시스템을 최적 구성합니다. 이를 통해 미디어 사용량 조정, 반응 효율 극대화, 공정 안정성 향상이 가능해집니다.
TILIA – 내부 백업 기능을 갖춘 듀얼 반응기 시스템
TILIA는 반도체 및 태양광 산업에서 사용되는 발화성, 불소계, 유독성 공정 가스를 안전하게 처리하기 위한 컴팩트한 솔루션입니다. 연소(Combustion)와 습식 스크러빙(Wet Scrubbing)을 결합하여 최상의 분리 효율을 달성합니다. TILIA가 기존의 여러 폐가스 처리 시스템을 어떻게 대체할 수 있는지 확인해보세요.
UPTIMUM – 높은 장비 가동률을 위한 최적화된 폐가스 처리 시스템
UPTIMUM 제품군은 반도체 및 태양광 산업의 CVD 공정에서 요구되는 높은 장비 가동률(Uptime)을 확보하기 위해 설계된 고성능 Burn/Wet 기반 폐가스 처리 솔루션입니다. UPTIMUM 이라는 제품명은 “Uptime”에서 유래되었으며, 시스템의 높은 가용성과 안정적인 연속 운전을 강조합니다. 본 장치는 다양한 공정 조건에 대응할 수 있도록 설계되어 폭넓은 어플리케이션 적용이 가능합니다.
