입자 분리기 활용한 폐가스 처리
입자 분리기는 전기장을 이용하여 폐가스 흐름에서 입자, 에어로졸, 응축물을 제거합니다. 미세 및 초미세 분진은 물론, 응축 가능한 유기 화합물까지 신뢰성과 효율성을 갖고 제거할 수 있습니다. 또한 컴팩트한 필터 구조는 설치 공간이 매우 작고 유지보수가 용이하다는 장점을 제공합니다.
EDC 전기식 필터를 이용한 Point-of-Use 폐가스 처리
당사의 전기식 미세·나노입자 분리장치인 EDC(Electrostatic Dust Collector)는 파티클 또는 에어로졸이 포함된 공정 폐가스를 사용 지점에서 직접 처리하도록 설계된 솔루션입니다. 이러한 유형의 폐가스는 대표적으로 태양전지, LED 및 반도체 제조 공정에서 발생합니다.
