Burn-Dry 시스템 – 고효율, 안전, 배출 저감형 폐가스 처리
MOCVD 및 EUV 공정을 위한 Point-of-Use 시스템 - 폐수가 발생하지 않으며, 연료가스 소비를 최소화하고 높은 운영 안정성을 제공합니다.
개요
Burn-Dry 공정은 수소 (H₂)와 암모니아 (NH₃) 부하가 높은 공정 및 유기금속 화합물과 실란 (SiH₄) 농도가 상대적으로 낮은 공정에 적합한 고신뢰성의 지속 가능한 Point-of-Use 폐가스 처리 솔루션입니다.
특히 MOCVD, LED, µLED, GaN 및 EUV 공정에서 발생하는 폐가스를 안정적이고 효율적으로 처리하도록 설계되어 뛰어난 성능과 운영 안정성을 제공합니다.
LARCH
LARCH 제품군은 견고한 Burn-Dry 기술을 기반으로 뛰어난 운전 안정성, 최소한의 유지보수, 낮은 운영 비용을 제공합니다. 또한 용수를 사용하지 않아 폐수가 발생하지 않으며, 습식 스크러버 대비 환경 부담을 줄일 수 있습니다.
더불어 오염물질의 열분해 및 단계별 연소 기술을 적용하여 NOx 발생을 효과적으로 저감함으로써, 동급 제품군에서 가장 친환경적이고 효율적인 폐가스 처리 기술을 구현합니다.
