반도체 산업을 위한 촉매식 NOx 저감 시스템
Burn-Wet 및 기타 NOx 발생 저감설비 후단에 적용되는 2차 폐가스 처리 시스템으로, NOx 배출을 효과적으로 저감합니다.
최고 수준의 환경 기준을 충족하는 2차 폐가스 처리
최신 Burn-Wet 시스템은 다양한 유해 공정가스를 안정적으로 제거합니다. 그러나 처리 과정에서 NOx가 생성될 수 있으며, 이에 대한 환경 규제는 지속적으로 강화되고 있습니다. 촉매 후처리 시스템은 NOx 배출을 선택적으로 저감하여 강화되는 환경 기준을 효과적으로 충족할 수 있는 솔루션을 제공합니다.
TSUGA – 실용적인 솔루션
TSUGA는 선택적 촉매 환원(SCR) 기술과 고효율 입자상 물질 여과 기술을 결합한 시스템입니다. 후단 솔루션으로 적용되어 기존 폐가스 처리 시스템의 운영에 영향을 주지 않으면서 NOx와 입자상 물질을 안정적으로 저감합니다.
