ALCEA - 첨단 촉매 산화 시스템
반도체 산업의 연소 후 폐가스 처리를 위한 고효율 통합형 DeNOx 솔루션
ALCEA
검증된 DAS 플라즈마 강화 촉매 기술을 기반으로 하는 ALCEA는 NOx를 발생시키는 다양한 폐가스 처리 장비의 후단에 적용할 수 있는 고효율 통합형 2차 저감 시스템입니다. 플라즈마 기술을 이용하여 활성산소종을 생성하고, 이를 촉매 반응에 활용하여 NOx를 효과적으로 저감합니다.
선행 처리 공정에 따라 ALCEA는 최소한의 에너지 소비로 최대 95%의 뛰어난 NOx 저감 효율을 제공합니다. 또한 촉매 장치를 배기 덕트에 직접 통합함으로써 별도의 설치 공간이 거의 필요하지 않으며, Subfab의 기존 배기 덕트 시스템에도 간편하게 설치할 수 있습니다.
NOx 저감
설치 공간 최소화
기존 설비에 적용 가능
첨단 NOx 처리 기술
ALCEA는 Plasma-Wet 또는 Burn-Wet 시스템과 같이 NOx를 발생시키는 저감 장비의 후단에 적용되는 2차 저감 시스템으로 특별히 개발되었습니다. 촉매 장치가 배기 덕트 시스템에 직접 통합되어 있어 Subfab 내 별도의 추가 설치 공간이 필요하지 않습니다.
플라즈마 강화 촉매 기술은 비열 플라즈마 (NTP) 와 촉매 기술을 결합하여 낮은 에너지 소비로 효율적인 NOx 저감을 실현합니다.
또한 높은 처리 용량과 컴팩트한 설계를 통해 기존 배기 시스템에 쉽게 통합할 수 있으며, 상류측 저감 장비의 운전이나 성능에 영향을 주지 않고 적용할 수 있습니다.
ALCEA로 폐가스 처리를 최적화하세요.
반도체 산업에서 발생하는 NOx 폐가스의 고효율 2차 처리에 최적화되었습니다.
