LARCHLED產業提供廢氣處理方案

達思DAS Environmental Expert的LARCH燃燒系統是特別針對LED產業金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)製程設計的使用端廢氣處理方案。LARCH除能處理大流量的氫氣與氨氣,亦能處理小流量的金屬-有機物以及摻入雜質。

廢氣處理設備 – LARCH

運用燃燒爐技術處理廢氣

該處理方案結合氧化與熱分解,透過環保永續的方式擴展了DAS達思系統的技術範疇。LARCH的特色包括低投資與營運成本,匯聚成簡單、強固的設計,並將環境衝擊減至最低(無二氧化碳排放、氧化氮排量極低)。目前客戶裝設的設備顯示維護保養的間隔已超過6個月,而人員並可從設備的三面外殼拆機維護。透過製程工具介面,營運成本與安全性均達到改善。此外,藉由熱交換機的應用,處理過程中的熱氣並可供其他生產區運用。

LARCH 運作原理

該系統之運作可分為三個步驟。首先,要進行處理的廢氣透過特殊封裝的進氣口送到分解區,氨氣即在此處進行分解,之後,透過電弧點燃氫氣並氧化,使廢氣在反應室內進行燃燒與氧化。最後,廢氣在熱交換機內進行冷卻(低於攝氏60度)。經過上述處理的氣體因符合德國嚴苛的空污排放標準(TA Luft),因此不須再進一步的處理即可直接排放於大氣中。

客戶利益

  • 無二氧化碳排放 : 不排出溫室氣體,氧化氮氣體排放量極低
  • 無廢水 : 無NH4+ 廢水排量限制的問題
  • 在使用端處理H2 氫氣 : 在處理氫氣方面達到最高安全性
  • 內部安全 : 在失火時會稀釋氫氣

技術資料

  • 尺吋 (寬 x 深x 高): 1350 mm x 1000 mm x 2000 mm
  • 可從設備前方、後方、頂部進入維修空間
  • 進氣接管: DN40
  • 出氣接管: DN300 (標準)

選配方案

所有LARCH系統均提供以下選配方案:

  • 電源供應器: 3個400 V/50 Hz或3 個 208 V/60 Hz
  • 製程工具介面
  • 警訊燈
  • 防漏盤
  • 地震安全套件
  • 空冷散熱組件(無冷卻水)