優化使用端廢氣處理系統

高科技產業的創新周期短,因此達思 DAS Environmental Expert的研發人員在產品研發開發階段之後,仍持續優化並強化現有系統,同時進行新廢氣處理系統的設計。

不斷創新、即刻優化的廢氣處理系統

對客戶而言,優化製程常會改變製程廢氣組成及流量,因此對廢氣處理系統的需求也因而改變。此外,因產業標準異動而調整使用的系統零配件及模組,更需要不斷創新的廢氣處理技術以因應新的製程廢氣。為確保並持續提供客戶最佳的廢氣處理解決方案,我們創

建了一項CIP 持續改善專案(Continuous Improvement Program) 來監控整個廢氣處理設備的產品生命周期,從產品研發、試運轉與機台維護皆透過傅立葉轉換紅外光譜儀(Fourier Transform Infrared Spectroscopy,FTIR) 隨時提供現場監測。

為優化廢氣處理系統而設計的CIP流程

DAS達思系統的廢氣處理系統是透過更新現有的系統、重新設計系列產品來不斷研發改良。因此,客戶的回饋及實際的數據都在系統的優化上扮演著重要的角色。我們的服務和產品管理部門定期收集並整理現場數據,再交由位在德國德勒斯登的實驗室進行大規模的技術測試、或是在和客戶討論後直接在工廠進行測試。無論是調整系統、紀錄資料或是更新系統之前,我們均會提前通知客戶,並經客戶確認後進行。

採用FTIR優化廢氣處理系統

為了監測客戶的廢氣處理系統,達思DAS環保專家採用傅立葉轉換紅外光譜儀 (Fourier Transform Infrared Spectroscopy,FTIR) 檢測方式來作為監測標準。公司內部配置的FTIR光譜儀即可測量廢氣於製程間的入口端濃度。使用FTIR檢測方式來優化廢氣處理系統是基於以下三個策略性考量:

1. 量測廢氣處理系統的效能

廢氣經處理後,其流量或濃度會根據質量流量控制器MFC(Mass Flow Controller)定義的標準進行檢測。此監測程序能快速、簡單又有效地監控廢氣處理系統,更可避免高濃度廢氣問題。

2. 評估廢氣處理系統整體效能

透過檢測經處理後之氣體質量流量,可量測出廢氣總排放量和大氣載荷量,同時也可監測生產過程中產生之氣體及其附加的產物。此測量方法除簡單又快速之外,並能檢測出製程及廢氣系統整體(包含製程系統、幫浦、廢氣處理)的分離效能。然而此FTIR設備無法提供廢氣處理系統效能的詳細資料。

3. 排放量測

此檢測方式可測出生產期間廢氣經處理後的質量流量,並能監測所有製程的廢氣排放及大氣負荷。此方法不僅操作簡易,且無需處理高濃度氣體。

達思 DAS Environmental Expert 採用的FTIR檢測方式可用於各客戶的廢氣處理系統,並確保提供高品質管控。公司同時致力於持續優化廢氣處理系統,以期成為客戶在廢氣處理領域可靠的夥伴。此外,達思 DAS Environmental Expert 也提供符合測試認證機構標準的檢測方式。