使用端(point-of-use)廢氣處理解決方案
自1991年以來，達思DAS Environmental Expert不斷為全球高科技廠商研發並生產客製化的使用端(point-of-use)廢氣處理系統，致力於協助不同產業的創新研發，同時守護環境與人類健康。
用於廢氣處理之減排方案
有效的工業廢氣處理不僅能保護人類健康與環境，更能確保客戶端產能的穩定，而這也是達思DAS Environmental Expert超過25年來不斷努力的使命及目標。DAS達思系統的減排方案不但可客製化，並且符合德國工業高標準。我們全球的服務團隊提供專業的裝機服務，借助德國德勒斯登(Dresden)總部的研發能力，輔以台灣與美國創新
研發訓練中心之支援，致力與客戶密切合作以迅速因應最新創新週期。DAS達思系統的廢氣處理解決方案(Local scrubber)符合高科技業最高品質與安全標準，並達到德國TA-Luft(空氣品質控管技術手冊)的嚴格要求，而這些都在在奠定了達思DAS Environmental Expert成為高科技產業廢氣處理領導品牌的地位。
客製化廢氣處理系統的規劃與設計
達思DAS Environmental Expert與各產業製造商、建築設計師以及代工夥伴攜手合作，共同開發並優化廢氣處理系統。DAS達思系統與客戶研發的腳步並駕齊驅，不斷提出創新解決方案，不僅兼顧安全、成本、節能，並提供完善的遠端數據服務。
使用端(point-of-use)廢氣處理系統
達思DAS Environmental Expert的使用端(point-of-use)廢氣處理設備(waste gas abatement system)為半導體、太陽能、LED與面板(TFT)等產業處理製程廢氣。DAS廢氣處理設備(DAS scrubbers)能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒、易自燃的氣體和微細粉塵。DAS達思系統提供的廢氣處理方案並包含了燃燒/水洗系統、水洗Scrubber、高溫分解與靜電式集塵系統。
廢氣處理系統的優化
對客戶而言，優化製程常會改變製程廢氣組成及流量，因此對廢氣處理系統的需求也隨之改變。此外, 因產業標準異動而調整使用的系統零組件及模組，更需要不斷創新的廢氣處理技術來因應新的製程廢氣。
廢氣處理系統的服務與維護
DAS達思系統的服務團隊24小時隨時待命，同時也在各國高科技產業據點提供駐廠服務。我們的客戶服務範圍包含系統設置安裝、專業維護與技術支援。DAS的全球服務只使用原廠備用零件與耗材，以確保廢氣處理流程的安全與效率。
關鍵製程的處理
微晶片、太陽能模組、平面顯示器與發光二極體(LED)等高效高科技產品的製程不僅複雜且涵蓋不同階段，且每一道生產程序均會產生廢氣，因此必須在使用端(point-of-use)即直接進行減排。歡迎點此深入了解相關製程和DAS達思系統的解決方案
DAS工業廢氣處理技術一覽
產業環保與安全的廢氣處理
微晶片、太陽能電池、平面顯示器與發光二極體(LEDs)的生產包含非常複雜、多階段的製程，並產生許多有害廢氣。這些製程可能包含蝕刻、化學氣相沈積(CVD)、磊晶或透明導電氧化物(TCO)製程。廢氣必須在使用端(point-of-use)立即處理的原因如下：
1.健康與安全：
許多製程氣體具可燃燒或易爆炸特性，如氫氣(H2)或矽烷(SiH4)，其他如氟化碳醯、溴化氫與氟氣(COF2、HBr、F2)則為有毒氣體，因此必須在與人或環境接觸前先行處理。
2.環境保護：
許多氣體對環境是有害的。例如，四氟甲烷(CF4)在大氣層的生命週期約為50,000年，其對於全球暖化的殺傷力為二氧化碳(CO2)的6,500倍。
3.生產製程的穩定性：
許多廢氣帶有微粒或粉塵，而粉塵可能影響設備入口端/出口端廢氣排放，造成廠房設備無預警停轉。粉塵的粒子體積通常只有次微米，很容易穿過水洗Scrubber或物理過濾系統而不被水洗捕捉，因此非常難處理。
廢氣處理設備一般裝設於Sub-fab(次潔淨區域)，並放置在真空幫浦後。置於真空幫浦附近有許多好處，例如，縮短兩個設備之間氣體管線，能降低洩漏的風險，且因為一些製程需要加熱帶、避免廢氣管線冷凝，因此也能節省成本。廢氣處理設備(waste gas treatment systems)也能進一步減少氣體管線的清理與維護需求。歡迎前往個案研究區參考案例。
您的廢氣處理專家
Jackie 徐世紘
業務經理
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