使用端(point-of-use)廢氣處理解決方案

自1991年以來,達思DAS Environmental Expert不斷為全球高科技廠商研發並生產客製化的使用端(point-of-use)廢氣處理系統,致力於協助不同產業的創新研發,同時守護環境與人類健康。

用於廢氣處理之減排方案

有效的工業廢氣處理不僅能保護人類健康與環境,更能確保客戶端產能的穩定,而這也是達思DAS Environmental Expert超過25年來不斷努力的使命及目標。DAS達思系統的減排方案不但可客製化,並且符合德國工業高標準。我們全球的服務團隊提供專業的裝機服務,借助德國德勒斯登(Dresden)總部的研發能力,輔以台灣與美國創新

 

研發訓練中心之支援,致力與客戶密切合作以迅速因應最新創新週期。DAS達思系統的廢氣處理解決方案(Local scrubber)符合高科技業最高品質與安全標準,並達到德國TA-Luft(空氣品質控管技術手冊)的嚴格要求,而這些都在在奠定了達思DAS Environmental Expert成為高科技產業廢氣處理領導品牌的地位。

 

客製化廢氣處理系統的規劃與設計

達思DAS Environmental Expert與各產業製造商、建築設計師以及代工夥伴攜手合作,共同開發並優化廢氣處理系統。DAS達思系統與客戶研發的腳步並駕齊驅,不斷提出創新解決方案,不僅兼顧安全、成本、節能,並提供完善的遠端數據服務。

使用端(point-of-use)廢氣處理系統

達思DAS Environmental Expert的使用端(point-of-use)廢氣處理設備(waste gas abatement system)為半導體、太陽能、LED與面板(TFT)等產業處理製程廢氣。DAS廢氣處理設備(DAS scrubbers)能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒、易自燃的氣體和微細粉塵。DAS達思系統提供的廢氣處理方案並包含了燃燒/水洗系統、水洗Scrubber、高溫分解與靜電式集塵系統。

廢氣處理系統的優化

對客戶而言,優化製程常會改變製程廢氣組成及流量,因此對廢氣處理系統的需求也隨之改變。此外, 因產業標準異動而調整使用的系統零組件及模組,更需要不斷創新的廢氣處理技術來因應新的製程廢氣。

廢氣處理系統的服務與維護

DAS達思系統的服務團隊24小時隨時待命,同時也在各國高科技產業據點提供駐廠服務。我們的客戶服務範圍包含系統設置安裝、專業維護與技術支援。DAS的全球服務只使用原廠備用零件與耗材,以確保廢氣處理流程的安全與效率。

關鍵製程的處理

微晶片、太陽能模組、平面顯示器與發光二極體(LED)等高效高科技產品的製程不僅複雜且涵蓋不同階段,且每一道生產程序均會產生廢氣,因此必須在使用端(point-of-use)即直接進行減排。歡迎點此深入了解相關製程和DAS達思系統的解決方案

我們信賴 DAS達思系統的廢氣減排設備,並已合作超過18年的時間。 來自德勒斯登的環境專家完全能了解我們的高品質標準。他們的解決方案以及專業服務,為實現這些標準作出了具體的貢獻。

Jürgen Burek, Robert Bosch GmbH

身為一個國際化的微晶片製造商,我們信任DAS達思系統的高科技專業。多年來,我們依賴達思DAS En­vir­on­mental Ex­pert 的減排方案,並與該公司建立了深厚的夥伴關係。

Eckhard Oetjen, GLOBALFOUNDRIES

產業環保與安全的廢氣處理

微晶片、太陽能電池、平面顯示器與發光二極體(LEDs)的生產包含非常複雜、多階段的製程,並產生許多有害廢氣。這些製程可能包含蝕刻、化學氣相沈積(CVD)、磊晶或透明導電氧化物(TCO)製程。廢氣必須在使用端(point-of-use)立即處理的原因如下:

 

1.健康與安全:

許多製程氣體具可燃燒或易爆炸特性,如氫氣(H2)或矽烷(SiH4),其他如氟化碳醯、溴化氫與氟氣(COF2、HBr、F2)則為有毒氣體,因此必須在與人或環境接觸前先行處理。

2.環境保護:

  許多氣體對環境是有害的。例如,四氟甲烷(CF4)在大氣層的生命週期約為50,000年,其對於全球暖化的殺傷力為二氧化碳(CO2)的6,500倍。

3.生產製程的穩定性:

     許多廢氣帶有微粒或粉塵,而粉塵可能影響設備入口端/出口端廢氣排放,造成廠房設備無預警停轉。粉塵的粒子體積通常只有次微米,很容易穿過水洗Scrubber或物理過濾系統而不被水洗捕捉,因此非常難處理。

廢氣處理設備一般裝設於Sub-fab(次潔淨區域),並放置在真空幫浦後。置於真空幫浦附近有許多好處,例如,縮短兩個設備之間氣體管線,能降低洩漏的風險,且因為一些製程需要加熱帶、避免廢氣管線冷凝,因此也能節省成本。廢氣處理設備(waste gas treatment systems)也能進一步減少氣體管線的清理與維護需求。歡迎前往個案研究區參考案例。

 

您的廢氣處理客服專員

Jessica Lin

業務助理

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