我們在使用端的廢氣處理產品組合

自 1991 年以來,DAS Environmental Experts 的廢氣處理系統一直處理著高科技產業製造過程中產生的廢氣,在保護人類和環境的同時,推動著我們社會的技術進步。

三人在辦公室內進行討論,其中一人持有筆記本電腦,另一人拿著文件夾,第三人在講解機械裝置。

廢氣處理方案

自1991年起,DAS Environmental Experts的廢氣處理系統持續處理高科技產業製造過程中的工業氣體,在推動社會技術進步的同時守護人類與環境。工業廢氣淨化不僅保障人類與環境安全,更能確保生產流程穩定運行。三十餘年來,DAS Environmental Experts始終致力於此一使命。我們的廢棄物處理方案皆依據客戶需求規劃配置,於德國製造符合高標準產業規範,並由全球服務團隊提供專業支援。

憑藉德勒斯登總部及台灣、美國創新中心的自主研發實力,我們得以與客戶緊密合作,並迅速應對新創週期。我們的解決方案符合高科技產業最嚴苛的品質與安全標準,同時滿足《空氣品質技術指導方針》(TA Luft) 的高要求規範。正因如此,DAS Environmental Expert 躋身業界領先企業之列。

"我們對 DAS 廢氣處理設備的信賴已超過 18 年。來自德勒斯登的環保專家瞭解我們的高品質標準。他們的解決方案以及專業服務為達到這些標準做出了重大貢獻"。

圓形的晶圓在現代半導體加工設施中,表面顯示出彩色的電路圖案,反映出微電子技術的精密性。
Jürgen Burek
Robert Bosch GmbH

"身為國際晶片製造商,我們仰賴DAS Environmental Experts的高超技術專業。多年來,我們始終信賴其處理方案,由此建立起深厚的合作關係."

兩名身穿黑色制服的工作人員在走廊中推著行李箱,走廊設計現代,光線明亮。
Eckhard Oetjen
GlobalFoundries Dresden Module One LLC & Co. KG

您對我們的產品和服務有任何疑問嗎?

我們的環境專家將竭誠為您提供協助

關鍵工業製程的處理

製造如 晶片、太陽能模組、平板顯示器及發光二極管 (LEDs)等高性能高科技產品需要高度複雜的多階段製造製程。每個生產步驟都會產生廢氣,這些廢氣必須在其產生點(使用端)直接處理。

三位商務人士在現代辦公室會議桌旁進行討論,中間的人手持筆記型電腦,表情專注。

規劃與開發客製化廢棄物處理系統

為了開發和優化我們的設備,我們與客戶、建築設計師和製程設備供應商(OEM)密切合作。藉此,我們能夠共同開發創新解決方案,涵蓋安全、成本和能源節約以及連網服務等領域。

兩名穿著深色工作服和白色安全帽的工人正在工廠內合作操作大型金屬設備,專注於將一個金屬蓋放回設備上,背景是現代化的工業設施。

製程設備的廢氣處理產品組合

DAS Environmental Expert 的廢氣處理系統專為半導體、太陽能、LED 和 TFT 產業等領域,即時在使用端(Point-of-Use)處理其製程廢氣。DAS Scrubber可處理可冷凝、易燃、腐蝕性、反應性、有毒和/或自燃性廢氣以及細微粉塵。我們的製程解決方案涵蓋燃燒/水洗式與電漿/水洗式系統、水洗式系統、燃燒式系統、觸媒催化系統及靜電式集塵系統。

一名年輕女子與一名中年男子在現代辦公環境中一起專注於筆記型電腦上的工作。

優化廢氣處理系統

隨著客戶製程的持續優化與進一步發展,廢氣處理的要求亦隨之改變。製程廢氣成分或量的變動可能影響系統效能。此外,針對系統組件與裝配的產業標準不斷更新,要求廢氣處理解決方案必須持續精進。

三位戴著安全帽的人員在明亮的工業設施中,操作大型金屬設備,專注於機器的檢查和維護,周圍有橙白相間的安全欄杆。

廢氣處理設備的服務與維護

我們的服務團隊可應要求在全球各地提供支援,或作為常駐團隊進駐所有高科技廠域。客戶服務涵蓋設備調試、專業維護及技術支援。我們全球獨家採用原廠備件與易耗零件,確保廢氣處理系統的安全性與高效運作。

超越產業基準:CF4 的 DRE >99.9%

半導體產業正面臨日益增大的壓力,必須減少直接溫室氣體排放。四氟甲烷(CF₄)由於其高全球暖化潛能值及長的大氣壽命,尤為關鍵。

因此,銷毀與去除效率(DRE)是一項策略性因素。雖然業界標準介於 95% 至 99% 之間,但要達到 >99.9% DRE 將殘餘排放量減少至原來的十分之一,使其成為實現脫碳與符合法規的重要手段。

CF₄ 非常穩定,需要精確控制的熱條件才能有效分解。諸如 TILIA 之類的優化燃燒/水洗式系統就是一種成熟的解決方案。

高效率的減排措施可減少排放和長期成本,使合規成為策略優勢。

一隻手掌托著綠色幼苗,背景模糊的自然環境增強了植物的活力與成長潛力。

關於廢氣處理系統的重要問題

常見問題

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