ALCEA –Advanced Catalytic Oxidation（先進触媒酸化技術）
ALCEAは、半導体製造プロセスで発生する排ガスの燃焼後処理において、効率的なNOx低減を実現する高効率・一体型のDeNOx（脱硝）ソリューションです。
ALCEA
ALCEAは、実績あるDASのプラズマ支援触媒技術を基盤とした、高度に統合された高効率な二次排ガス処理システムです。NOxを発生する各種排ガス処理装置の後段に設置し、さらなるNOx削減を実現します。
本プロセスでは、プラズマ技術により活性酸素種（Reactive Oxygen Species: ROS）を生成し、これを触媒反応の基盤として利用します。
前段の処理条件に応じて、ALCEAは最大95％の優れたNOx除去効率を達成しながら、エネルギー消費を最小限に抑えます。また、触媒ユニットを排気ダクト内に組み込むことで、追加の設置スペースをほとんど必要としません。サブファブ（Subfab）の排気ダクトシステムへ容易に組み込むことができ、既存設備への導入にも柔軟に対応します。
NOx削減
設置スペースをほとんど必要としない
既存設備への導入が容易
高度なNOx処理技術
ALCEAは、プラズマ湿式処理システムや燃焼湿式処理システムなど、NOxを発生する排ガス処理技術の後段に設置する二次排ガス処理システムとして特別に開発されました。
触媒ユニットを排気ダクトシステム内に組み込む設計のため、サブファブ内に追加の設置スペースを必要としません。プラズマ支援触媒技術は、非熱プラズマ（NTP）と触媒技術を組み合わせることで、低エネルギー消費で効率的なNOx削減を実現します。
また、高い処理能力とコンパクトな設計により、既存の排気システムへ容易に統合することが可能です。さらに、上流側の排ガス処理装置の運転や性能に影響を与えることなく導入できます。
ALCEAによる排ガス処理の最適化
ALCEAは、NOx処理向けに開発された、高度に統合された高効率な二次排ガス処理システムです。
