半導体製造向け高効率触媒式NOx削減システム
燃焼式スクラバー（Burn-Wet）やその他のNOx発生型排ガス処理設備の後段で、窒素酸化物（NOx）の排出を効果的に低減する二次排ガス処理ソリューションです。
最高水準の環境基準に対応する二次排ガス処理
触媒後処理システムは、NOx排出量を選択的かつ効率的に削減するための有効なソリューションです。
TSUGA – 実績に裏付けられた触媒式NOx削減ソリューション
TSUGAは、選択触媒還元（SCR：Selective Catalytic Reduction）技術と高効率粒子状物質フィルターを組み合わせた先進的なシステムです。既存の排ガス処理設備の後段に導入でき、上流システムの運転に影響を与えることなく、窒素酸化物（NOx）や粒子状物質を効率的に削減し、厳しい環境基準への対応を支援します。
