湿式スクラバーによる廃ガス処理
プロセス排ガス中の水溶性有害物質は、湿式スクラバーによって効率的に処理することができます。ガススクラバーは主に半導体やLED産業で採用されており、工場の排ガスシステムを汚染や腐食から守るPOU(Point-of-Use)湿式処理システムとして使用されています。
スクラバーポートフォリオ
コンパクトな湿式スクラバーは、高い処理効率と低い投資コストが特徴です。プロセスツールのインターフェースにより、運転コストを最適化できます。
AQUABATE – ウェットスクラバーによる廃ガス処理
アクアベートのコンパクトな湿式スクラバーは、柔軟なカスタマイズ設計が可能です。このスクラバーは排ガスを効率的に処理し、設置面積が小さく、運転コストを削減します。
SALIX – ウェットベンチ用途からの廃ガスのウェットスクラビング
SALIXは、枚葉式クリーンウエットベンチからのプロセス排ガスに特化したポイント・オブ・ユースのウェットスクラバーファミリーです。このシステムは、旧来のコンセプトと比較して、プロセスの変更に対する高い柔軟性を可能にし、スペースとクリーンルームの空気を節約します。