スクラバー製品一覧
DAS Environmental Expertsのコンパクト湿式スクラバーは、高い処理効率と低い導入コストが特長です。さらに、プロセスツールとのインターフェースにより、運用コストを最適化できます。
AQUABATE – 湿式スクラバーによる排ガス処理
DAS Environmental Expertsは、湿式スクラバー技術を基盤に、AQUABATE製品ラインを開発しました。このシリーズは、プロセス排ガス中の水溶性汚染物質をポイント・オブ・ユースで柔軟かつカスタマイズ可能な方法で除去します。スクラバーは効率的に稼働し、省スペース設計で運用コストも削減します。
SALIX –ウェットベンチ用途の排ガスを湿式スクラバーで処理
SALIXは、シングルウェハのウェットベンチ工程で発生する有害ガスを処理するためのポイント・オブ・ユース湿式スクラバーとして開発され、現場で数百回の評価を経て成功を収めています。このシステムは、プロセス変更への柔軟性を高め、従来のコンセプトと比較して設置面積やクリーンルームの空調負荷を削減します。
