STYRAXによる使用前廃ガス処理

STYRAXツールファミリーは、バーン/ウェット技術を使用し、半導体や太陽電池産業におけるCVDプロセスのような要求の厳しい廃棄物プロセスを管理するために特別に開発されました。システムの媒体供給は可変的に行うことができます。メンテナンスサイクルが長いため、システムの稼働時間が長くなります。

スタイラックス製品群の開発は、現代の排ガス処理における2つの重要な願望に基づいています: PFCの低減とメンテナンス間隔の短縮です。そのため、DAS Environmental Expertのポートフォリオに新しい技術的アプローチが導入されました。ガスは現在、上から下へ燃焼されます。スクラビングステージはHFに最適化されている。水や灰汁の消費は最小限に抑えられています。特殊なインレット設計により、目詰まりを防止します。他のプロセスでのメンテナンス間隔を改善するためのオプションもあります。

DAS EE Operation Principal STYRAX

STYRAX排ガス処理システムの動作原理

プロセス廃棄ガスの有害物質は、発生源(Point-of-Use)から直接処理されます。この最適化された燃焼/湿式技術では、ガスは上から下へと燃焼される。廃ガスの化学組成に応じて、様々な反応(酸化、還元、熱分解)が起こります。流体壁/フィルムは、反応器内の粒子の腐食と堆積を防ぐ。反応器の隣の洗浄塔では、可溶性成分が吸収され、粒子が浮遊する。スクラビング液は冷却され、ハロゲン化水素のような燃焼生成物を中和します。全体的な除害コンセプトの中でスタイラックスを適用することで、ハイテク産業のメーカーはドイツの大気汚染法(TA Luft)の厳しい基準を満たすことができます。

STYRAX DUO – バックアップ機能付き廃ガス処理装置

STYRAX DUOは当社の標準バージョンです。2つのスクラビングシステムが同時に作動します。このシステムは、半導体および太陽電池プロセス装置の最大4つの独立したインレットに最適化されています。1台のリアクターが故障したりメンテナンスが必要な場合、もう1台のリアクターがすべての排ガス処理をバックアップし(内部バックアップ)、装置の稼働時間をほぼ100%に保ちます。STYRAX DUOは、異なる燃料ガスとスクラバー液で運転できます。操作とメンテナンスのためのアクセスは、前面と背面にあります。クローズドループ設計による水消費量の少なさが特徴です。

DAS EE STYRAX DUO 3D Rendering

仕様

  • リアクターあたり最大2つの独立したインレット
  • バックアップ機能により運転時間99%以上
  • セカンドリアクターによりメンテナンス中も中断なく運転可能
  • 異なる燃料ガスで運転可能
  • クローズドループ設計による低水消費

 

さらなる製品バージョン – バックアップシステム無し

DAS EE STYRAX Inline 3D Rendering

STYRAX INLINEは、半導体および太陽電池プロセスツールの最大6つの独立したインレット用に最適化されています。

DAS EE STYRAX TWICE 3D Rendering

STYRAX TWICEは、2つの独立したバーン/ウェットシステムと共通の制御および媒体供給を備えたダブルシステムです。半導体および太陽電池プロセスツールの最大8つの独立したインレット用に最適化されています。

技術データ

STYRAX INLINESTYRAX TWICE
Dimensions(W x D x H):1110 mm x 675 mm x 2070 mm1865 mm x 675 mm x 2070 mm
Maintenance area前面および背面 前面および背面
Gas entry:6 x DN25 または 4 x DN402 x 4 DN25 または DN40
Gas outlet:DN1002 x DN100

オプション

すべてのSTYRAXシステムには、以下の装備オプションが用意されています:

  • 電源 3 x 400 V/50 Hzまたは3 x 208 V/60 Hz
  • 燃料ガス NG、LPG
  • 酸化剤 O2、CDA
  • クローズドループシステム 水、灰汁
  • 加熱された供給ラインとインレット
  • プロセス-ツール-インターフェース
  • シグナルタワー
  • ドリップパン
  • 地震安全キット
  • モニタリング
  • SEMI S2認証

証明書