局所排気型排ガス処理システム
産業排ガス処理の革新をリードするDAS Environmental Experts。燃焼・湿式（Burn-Wet）、プラズマ湿式（Plasma-Wet）システム、湿式システム（Wet Systems）燃焼乾式システム（Burn-Dry Systems）、触媒システム（Catalytic Systems）、粒子分離術（Particle Separator）など、幅広い処理技術で環境保護と効率化を実現します。
産業向け排ガス処理の製品ラインアップ
最先端のソリューションを網羅した、当社の排ガス処理製品をご紹介します。カスタマイズ可能な局所排気型システムから、統合的な処理コンセプトまで、あらゆる産業ニーズに対応します。
当社の技術は、精密さと効率性を兼ね備え、半導体や太陽光発電などの産業に求められる厳しい要件に対応します。
製品紹介ページでは、先進的な設計、エンジニアリングの専門知識、そして実証済みの性能がどのように融合し、安全性を高め、環境への影響を最小化し、生産効率を向上させるかをご覧いただけます。
ぜひ、無限の可能性を探求し、私たちがどのように排ガス処理の分野で、よりクリーンで持続可能な未来を切り拓いているかをご確認ください。
製品概要
排ガス処理
ESCAPE DUO – 半導体および太陽光発電産業における多様なプロセスガスを効率的に洗浄するための、DAS Environmental Experts製コンパクトなポイント・オブ・ユース排ガス処理システム
排ガス処理
STYRAXは、エッチング（ETCH）とCVD工程に最適なポイントオブユース型排ガス処理システム。バーンウェット方式とプラズマウェット方式から選択可能です。
排ガス処理
UPTIMUMは、異なる産業分野のCVDプロセスからの最大6系統の独立インレットに対応しています。本システムは、多様な燃料ガスおよびスクラビング液を使用して運転可能です。
排ガス処理
AQUABATEは、エピタキシーおよびCVDプロセス向けのポイントオブユーススクラバーです。製品の詳細をご覧いただき、専門スタッフによる最適なご提案をご利用ください。
重要プロセス向け排ガス処理ソリューション
ドレスデンをはじめ世界各地の当社チームは、豊富な技術的専門知識を活かし、半導体、MEMS、太陽光発電、LED産業のお客様にカスタマイズされた効果的なソリューションを提供しています。
マイクロチップ、太陽電池モジュール、フラットスクリーン、LEDなどの高性能ハイテク製品の製造には、非常に複雑で多段階の製造プロセスが必要です。
各工程では排ガスが発生し、その排出ガスは発生源（ポイントオブユース）で直接処理する必要があります。
これらのプロセスと当社のソリューションについて、詳しくはこちらをご覧ください。
技術選定に関するコンサルティング
当社の専門チームが現場状況を分析し、最適な排ガス処理技術を選定します。
プロセス装置、真空ポンプ、ガスの種類や流量、利用可能な運転資材などの情報をもとに、カスタマイズされたソリューションをご提案します。
Director Key Account Management Global
