UPTIMUM - CVDプロセス向け高効率排ガス処理
UPTIMUMは、DAS Environmental Expertsの燃焼・湿式技術ポートフォリオの一部です。本システムは、特定のCVDプロセスにおける高い稼働率（アップタイム）要求に対応するために特別に設計されています。
UPTIMUM – ポイントオブユースで発揮される高性能ソリューション
すべてのUPTIMUMシステムはコンパクトな設計で、前面および背面からのサービス・メンテナンスが可能です。設置は迅速かつ容易で、特別な機器を必要としません。さらに、プロセス装置とのインターフェースにより、運用コストや安全性の最適化が可能です。
UPTIMUMによる産業プロセスの高効率処理
UPTIMUMは、幅広い産業分野におけるCVDプロセスからの最大6系統の独立したガスインレットに対応しています。多様な燃料ガスおよび洗浄液（スクラビング液）の使用が可能です。
UPTIMUM PLUSは、薄膜シリコン太陽光発電プロセスの要件に特化して設計されています。このバリアントは、システムの稼働率を損なうことなく、より多量のH₂およびNF₃（またはF₂）を処理できます。
安全な排ガス処理を実現する燃焼・湿式技術
DAS Environmental Expertsのコンパクトな燃焼・湿式コンビネーションは、排ガス処理における数十年にわたる経験に基づいています。プロセスガスはその組成に応じて、リング状バーナー内で酸化、還元、または熱分解されます。続く湿式スクラビングにより、生成された化合物を確実に冷却・捕集します。
このポイントオブユース技術により、フッ素化合物、アンモニア、シラン、水素を含む排ガスを含め、産業排ガスを安全かつ効率的に処理することが可能となり、世界中の半導体業界で採用されています。
UPTIMUMで排ガス処理を最適化
UPTIMUMは、多様な産業における幅広いCVDプロセスに対応できるよう設計されています。
