UPTIMUMによる使用前廃ガス処理

UPTIMUMはDAS Environmental Expertのバーン/ウェット技術ポートフォリオの一部です。このシステムは、特定のCVDプロセスにおいて、より高い稼働率の要求に応えるために特別に設計されています。ガスは上から下へ燃焼されます。UPTIMUMシステムは、半導体および太陽電池産業の様々なプロセスに適用されています。

すべてのUPTIMUMシステムは設置面積が小さく、前面と背面からサービスやメンテナンスにアクセスできます。設置は素早く簡単で、特別な装置は必要ありません。プロセスツールインターフェースにより、運転コストと一般的な安全性を最適化できます。

UPTIMUMシステムの動作原理

プロセス廃ガスは、最大6つの別々の入口から導入される。廃ガスの化学組成に応じて、様々な反応(酸化、還元、熱分解)が起こる。流体壁/フィルムは、反応器内の粒子の腐食と堆積を防ぐ。反応器の隣の洗浄塔では、可溶性成分が吸収され、粒子が浮遊する。スクラビング液は冷却され、ハロゲン化水素のような燃焼生成物を中和する。UPTIMUMを全体的な除害コンセプトに適用することで、ハイテク産業メーカーはドイツの大気汚染法(TA Luft)の厳しい基準を満たすことができる。

UPTIMUM – CVDプロセスの効率的なポイント・オブ・ユース廃ガス処理

UPTIMUMは、様々な産業分野のCVDプロセスからの最大6つの独立したインレットに最適化されています。システムは異なる燃料ガスとスクラビング液で作動します。

仕様

  • 様々な燃料ガスに対応
  • クローズドループ設計による低水量消費

     

 

技術データ

  • 寸法(幅×奥行×高さ):1525 mm×1050 mm×2100 mm
  • 前面と背面にメンテナンスエリアへのアクセス
  • ガス導入口:最大DN25×6またはDN40×4
  • ガス出口:最大 DN100

 

UPTIMUMの設定オプション

すべての UPTIMUM システムで、以下の機器オプションが利用可能です:

  • 電源 3 x 400 V/50 Hzまたは3 x 208 V/60 Hz
  • 燃料ガス NG、LPG
  • 酸化剤 O2、CDA
  • クローズドループシステム 水、灰汁
  • 加熱された供給ラインとインレット
  • プロセス-ツール-インターフェース
  • シグナルタワー
  • ドリップパン
  • 地震安全キット
  • モニタリング
  • SEMI S2認証

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