AQUABATE - 水溶性汚染物質の確実な除去

AQUABATE EPI は、半導体業界におけるエピタキシープロセスの排ガス処理用に特化して設計されています。本スクラバーは、水素をプロセスキャリアガスとして使用する際に求められる高い安全基準を満たしています。スクラビング処理後、水素は爆発下限界（LEL）まで安全に希釈されます。
排ガスは最大3系統の独立した接続口から導入され、閉塞を防ぐ設計となっています。インレットおよび供給ラインには、オプションで加熱機能を装備可能です。

AQUABATE FLEXは、さまざまな用途の排ガスに含まれる水溶性成分を効率的に処理するためのモジュール式湿式スクラバーです。ガスインレットは、閉塞を防ぐために特別に設計されています。AQUABATE FLEXは、1段式または2段式スクラバーとして提供可能です。
コンパクトでモジュール化された設計により、お客様の要件に応じて最適化することができます。スクラバーの構成に応じて、排ガス供給ライン内での凝縮による問題を防ぐために、ガスインレットをスクラバー段または洗浄液タンクまでオプションで加熱することが可能です。さらに、洗浄効率を向上させるため、スクラビング液に薬品を添加することもオプションで対応できます。