DALEA – ポイントオブユース微粒子除去

内蔵された回転式微粒子コレクターにより、微細な粉じんの排出を最大98％削減します。
特に、WF₆プロセスにおけるタングステン粉じんの分離において高い効果が実証されています。

最大390 m³/hの高い処理能力とコンパクトな設計により、新設・既設どちらの工場にも適しています。また、粉じんを発生する多くの装置の後段に接続することが可能です。

さらに、ローター自体がファンの役割も果たし、排ガスを前方へ送り出します。これにより、圧力損失を防ぐだけでなく、排気システム全体の働きもサポートします。

操作やメンテナンスは、前面と背面の両方からアクセスできます。