静電フィルタEDCによるポイント・オブ・ユース排ガス処理
EDCは「静電集塵機」の略です。これらのシステムは、太陽光発電、LED、TFT、半導体産業で発生するマイクロ粒子やナノ粒子を含む、またはエアロゾルを含むプロセス排ガスの処理を担っています。
この集塵機は、最も微細な粒子であっても99.9%まで排出を低減し、排気の閉塞を防ぐことに成功しています。ほとんどの除害装置と併用できます。前面および背面から操作およびメンテナンスが可能です。
EDC/EDC PLUS – ポイント・オブ・ユースにおけるマイクロ粒子およびナノ粒子の排出削減
EDCおよびEDC PLUSは、例えば太陽電池やフラットパネルディスプレイ(FPD/LCD)製造において発生するような、マイクロ粒子やナノ粒子を含む、あるいはエアロゾルを含む最大270m3/hのプロセス排ガスをポイント・オブ・ユースで処理するための静電集塵機です。この集塵機は、酸化ケイ素やその他の粒子の排出を99.9%まで削減します。
仕様
- 粒子を含む、またはエアロゾルを含む廃ガス流の効率的な処理
- すべての固体粒子を液体中に懸濁させる(乾燥粉塵を取り扱わない)
- 極めて低い粒子放出
- 高い安全基準(すべての重要パラメータをセンサーで監視)
- 上流の除害システムとのインターフェース
技術データ
- 寸法(D×W×H):830/1500 mm×855/1000 mm×2100 mm
- 前面と背面からメンテナンスエリアにアクセス可能
- ガス導入口 DN100/DN150
- ガス出口 DN100/DN200
すべてのEDCシステムで、以下の機器オプションが利用できます:
- 電源 3 x 400 V/50 Hz または 3 x 208 V/60 Hz
- 圧力制御ファン
- 灰汁供給システム
- プロセス-ツール-インターフェース
- シグナルタワー
- ドリップパン
- 地震安全キット
- モニタリング
- SEMI S2認証