Burn-Dry Systems 燃焼乾式システム― 高効率・高安全性・低排出の排ガス処理

MOCVDおよびEUVプロセス向けに設計されたPoint-of-Useシステムです。排水を発生させない環境配慮型設計に加え、低燃料ガス消費と高い運転信頼性を実現し、効率的な排ガス処理を提供します。

概要

燃焼乾式（Burn-Dry）プロセスは、水素やアンモニアを高濃度で含む排ガスや、有機金属化合物およびシランを含むプロセス向けに、高い信頼性と環境性能を兼ね備えたPoint-of-Use排ガス処理ソリューションです。

MOCVD、LED、µLED、GaN、EUVなどの先進半導体・光電子デバイス製造プロセスから発生する排ガスの処理に最適化されています。

堅牢な燃焼乾式（Burn-Dry）技術を採用したLARCH製品ファミリーは、優れた運転安定性を実現し、メンテナンスの負担を最小限に抑えながら、低い運用コストを提供します。

また、湿式スクラバーとは異なり、給水を必要としないため排水が発生しません。さらに、汚染物質の熱分解（パイロリシス）や段階燃焼技術により、NOx（窒素酸化物）の生成を大幅に抑制します。これにより、LARCHは同クラスの排ガス処理システムの中でも、特にクリーンで高効率なソリューションを実現しています。