提升矽薄膜太陽能電池生產線的廢氣處理能力以降低成本
由於薄膜太陽能電池生產線面臨壓低成本的壓力，因此業界積極著手降低廢氣處理系統的運轉成本。
效能更提升的廢氣處理設備
DRE(破壞去除效率)不能降低的前提下。設備維護與廠務水電氣消耗方面的改良規劃，會在生產條件下實地測試六個月。
保定天威(Baoding Tianwei)集團薄膜太陽能電池生產線介紹
非晶矽/微晶矽CVD製程工具採用大量的甲矽烷、氫、三氟化氮、三甲基硼(TMB)、磷化氫等氣體作為摻雜物質。這些製程氣體不僅易燃、易爆，而且對環境有害。因此製程之排放物都須透過使用端減排設備進行燃燒與水洗處理，然後再輸送到濕式靜電集塵設備。這些減排系統每日約殘留100公斤的二氧化矽微塵以及180公斤的氟化氫。熱力催化燃燒(TCO)工具排放的氣體含有二乙基鋅(DEZ)、氧化鋅微粒、以及碳氫化合物。每個TCO工具都連結至燃燒/水洗廢氣處理系統，並在此系統對可燃成分進行氧化處理並濾下微粒。
維護成本降低: 主要原因以及相關效能提升
KAI – 運用GIANT/EDC處理廢氣
- 微粒會沉積在反應室以及連結至靜電集塵設備的管路
- 反應室的沉積會比預期變少→維護週期較長
- 加裝具自我潔淨能力的免維護的前置過濾器，連結到管路上 → 之後不必對連結管路做更多的維護
- 微粒沉澱在水槽(circuit tank) → 藉由增加水洗液(washing fluid)的循環/攪拌以避免沉澱
- 鹽質水垢(Salt scaling)是造成問題的主因 → 水槽進行微幅修改就能完全排除
ESCAPE – 測試之前的維護間隔:和TCO機台相同
- 在維護期間觀察到体積非常小的微粒沉積
- 措施: 維護間隔拉長
- 結果: 對於正常運作時間沒有負面影響
可節省水電的使用端廢氣處理系統
廢氣處理系統GIANT
- 優化酸鹼穩態→ 減少鹹液使用量
- 防止沉澱以及提升水洗廢液的過濾 → 提高液體中微粒的濃度，減少用水量
廢氣處理系統ESCAPE
- 減少用水量→ 不會產生負面影響
總結
採用簡單但具成效的多項效能提升，使廢氣處理系統在許多方面的運轉成本得以大幅降低。
您的廢氣處理專家
Brady 吳益銘
業務經理