提升矽薄膜太陽能電池生產線的廢氣處理能力以降低成本

由於薄膜太陽能電池生產線面臨壓低成本的壓力,因此業界積極著手降低廢氣處理系統的運轉成本。

效能更提升的廢氣處理設備

DRE(破壞去除效率)不能降低的前提下。設備維護與廠務水電氣消耗方面的改良規劃,會在生產條件下實地測試六個月。

保定天威(Baoding Tianwei)集團薄膜太陽能電池生產線介紹

Point-of-use Abgasentsorgungskonzept Tianwei

非晶矽/微晶矽CVD製程工具採用大量的甲矽烷、氫、三氟化氮、三甲基硼(TMB)、磷化氫等氣體作為摻雜物質。這些製程氣體不僅易燃、易爆,而且對環境有害。因此製程之排放物都須透過使用端減排設備進行燃燒與水洗處理,然後再輸送到濕式靜電集塵設備。這些減排系統每日約殘留100公斤的二氧化矽微塵以及180公斤的氟化氫。熱力催化燃燒(TCO)工具排放的氣體含有二乙基鋅(DEZ)、氧化鋅微粒、以及碳氫化合物。每個TCO工具都連結至燃燒/水洗廢氣處理系統,並在此系統對可燃成分進行氧化處理並濾下微粒。

維護成本降低: 主要原因以及相關效能提升

Planmäßige Wartung Abgasentsorgung

KAI – 運用GIANT/EDC處理廢氣

  • 微粒會沉積在反應室以及連結至靜電集塵設備的管路
    • 反應室的沉積會比預期變少→維護週期較長
    • 加裝具自我潔淨能力的免維護的前置過濾器,連結到管路上 → 之後不必對連結管路做更多的維護
  • 微粒沉澱在水槽(circuit tank) → 藉由增加水洗液(washing fluid)的循環/攪拌以避免沉澱
  • 鹽質水垢(Salt scaling)是造成問題的主因 → 水槽進行微幅修改就能完全排除

 

ESCAPE – 測試之前的維護間隔:和TCO機台相同

  • 在維護期間觀察到体積非常小的微粒沉積
  • 措施: 維護間隔拉長
  • 結果: 對於正常運作時間沒有負面影響

可節省水電的使用端廢氣處理系統

廢氣處理系統GIANT

  • 優化酸鹼穩態→ 減少鹹液使用量
  • 防止沉澱以及提升水洗廢液的過濾 → 提高液體中微粒的濃度,減少用水量

 

廢氣處理系統ESCAPE

  • 減少用水量→ 不會產生負面影響
Medienverbrauch für Abgasentsorgung

總結

採用簡單但具成效的多項效能提升,使廢氣處理系統在許多方面的運轉成本得以大幅降低。

DAS Headquarter in Dresden

您的廢氣處理專家

Brady 吳益銘

業務經理

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