針對TFT產業提供可靠的廢氣處理設備
TFT/LCD產業產品製程所產生的廢氣中殘留許多製程氣體，其中包括甲矽烷、氨氣、以及氧化亞氮。這些物質有些具有高度腐蝕性、毒性、或易燃性，必須在使用端立即處理。DAS達思系統為客戶提供了各種可靠的解決方案來因應特定的廢氣處理挑戰。
運用DAS達思系統的廢氣處理系統達到TFT產品的安全生產
製造TFT/LCD顯示器需要處理生產線產生的廢氣。例如在玻璃基板上大規模生產薄膜電晶體(TFT)的製程便會使用化學氣相沉積 – CVD – 將多層薄膜貼合在材料上。該製程必須定期清洗反應室，其通常使用三氟化氮進行蝕刻。各薄膜層的蝕刻通常使用四氟化碳、六氟化硫、以及氯等氣體，所釋出的大量廢氣混合物都可透過
燃燒/水洗(Burn/Wet)或靜電過濾(EDC)加以處理。達思DAS Environmental Expert所設計的系統不僅能直接在使用端處理各種製程廢氣，還能可靠地減量各種危險物質。DAS達思系統特別針對TFT/LCD產業開發各種專屬的解決方案，以安全地處理大量排放氣體，並遵循相關環保法規。
安全地處理各種危險廢氣
TFT/LCD產業在製程中所產生的各種廢氣內含許多殘留物，包括甲矽烷、氨氣、以及氧化亞氮等。這些廢氣不僅對環境產生高度風險，同時也危及生產設施的安全。將多種不同廢氣匯集到工廠的中央廢氣系統中往往製造出高易燃性與高爆炸性氣態混合物，進而形成嚴重的安全危害，因此必須永遠避免這種作法。此外，匯流多種氣體也會加快泵浦、閥門、以及管路的腐蝕，進一步影響工廠的安全。而廢氣中含有的微小粒子可能沉積在管路內，長時間累積下來將造成堵塞而增加維護的負擔，甚至使整個生產線停擺。
