燃燒/水洗系統的廢氣處理設備

將燃燒/水洗兩種處理技術結合在最小的空間，使此類設備能在使用端安全地處理各種廢氣。燃燒/水洗處理技術廣泛運用於各種類型的DAS廢氣減排系統，以用於處理不同類型的危險與有害廢氣。在半導體產業中，這類廢氣包括氟化物、氨、矽烷、以及氫氣等。

DAS的燃燒/水洗系統

燃燒/水洗技術的組合運用在許多DAS產品，用來處理不同的危險與有害廢氣。我們的微型化解決方案不僅佔地空間小，而且維護簡易。此外透過特定製程主機台介面，使得營運成本與整體安全性得以優化。

ESCAPE產品線是DAS達思系統使用端燃燒/水洗技術的基礎方案，在市場上已銷售超過25年。Gas Scrubber (燃燒/水洗)提供高彈性與客製化應用，可處理幾乎所有製程廢氣，版圖涵蓋半導體與太陽能產業，廠務需求並可視需求調整。

STYRAX產品線特別研發以管理各種要求嚴苛的廢氣處理，諸如半導體與太陽能產業的化學氣相沉積製程。DAS達思系統的應用專家確保燃燒/水洗系統提供各種客製化配置，如此使用單位可彈性地調整廠務需求的消耗量。

UPTIMUM產品線是針對半導體與太陽能產業之化學氣相沉積製程達到更高設備運行時間而設計。產品名稱UPTIMUM指的正是„Uptime“，以突顯出燃燒/水洗系統的高稼動率。該款機台適用於許多不同的應用領域。