使用端廢氣處理設備 UPTIMUM

UPTIMUM是達思DAS Environmental Expert燃燒/水洗處理設備的系列產品之一,該款系統特別設計以因應特定化學氣相沉積(CVD)製程中對於更高正常運作時間的需求。在此款系統中,氣體是採由上至下燃燒的模式。UPTIMUM廢氣處理設備可廣泛運用於半導體與太陽能產業的各種製程。

廢氣處理設備– UPTIMUM

運用UPTIMUM處理廢氣

所有UPTIMUM系統都具備微型機體的優點,並能從前方與背面拆殼來進行維護與保修。其安裝迅速且簡易,同時不需使用特殊工具。透過製程工具介面,營運成本與工安均可得以優化。

UPTIMUM廢氣處埋設備的運作原理

製程廢氣是透過最多6個獨立進氣口引入。系統會依照廢氣的化學成分,採取不同的反應(包括氧化、還原、熱分解等)。如薄膜般液體水幕除了防止反應室受到侵蝕外,還能避免廢氣中的微粒沉積在反應室內。在置於反應室旁的洗滌塔(washing column)內,會吸附可溶成分並洗下微粒。水洗廢液則會冷卻並中和各種易燃物,例如鹵化氫等。透過整體性減排概念運用UPTIMUM廢氣處埋設備將使高科技產業製造商能符合德國當地空污排放標準(TA Luft)的嚴格標準。

UPTIMUM – 為化學氣相沉積製程所提供的高效率使用端廢氣處理設備

UPTIMUM經優化設計,最多可透過6個獨立進氣口連結不同產業領域的化學氣相沉積製程設備。該款系統能支援多種燃料氣體與水洗廢液。

規格

  • 可使用不同燃料氣體
  • 透過封閉循環設計減少用水量

 

技術資料

  • 尺吋 (寬x深x高): 1525 mm x 1050 mm x 2100 mm
  • 可從前方與背面拆殼進行維護與保修
  • 進氣接管:最多6個DN25或4個DN40
  • 出氣接管:最大可接DN100

UPTIMUM的配置選配方案

所有UPTIMUM廢氣處埋設備均提供以下設備選配方案:

  • 電源供應器: 3個400 V/50 Hz或3 個 208 V/60 Hz
  • 燃料氣體: 天然氣、液化石油氣
  • 氧化劑:氧、CDA
  • 封閉循環系統:水、鹹液
  • 加熱帶與進氣口
  • 製程機台介面
  • 警訊燈
  • 防漏盤
  • 地震安全套件
  • 監控
  • SEMI S2認證

認證