使用端廢氣處理設備 UPTIMUM
UPTIMUM是達思DAS Environmental Expert燃燒/水洗處理設備的系列產品之一，該款系統特別設計以因應特定化學氣相沉積(CVD)製程中對於更高正常運作時間的需求。在此款系統中，氣體是採由上至下燃燒的模式。UPTIMUM廢氣處理設備可廣泛運用於半導體與太陽能產業的各種製程。
所有UPTIMUM系統都具備微型機體的優點，並能從前方與背面拆殼來進行維護與保修。其安裝迅速且簡易，同時不需使用特殊工具。透過製程工具介面，營運成本與工安均可得以優化。
UPTIMUM廢氣處埋設備的運作原理
製程廢氣是透過最多6個獨立進氣口引入。系統會依照廢氣的化學成分，採取不同的反應(包括氧化、還原、熱分解等)。如薄膜般液體水幕除了防止反應室受到侵蝕外，還能避免廢氣中的微粒沉積在反應室內。在置於反應室旁的洗滌塔(washing column)內，會吸附可溶成分並洗下微粒。水洗廢液則會冷卻並中和各種易燃物，例如鹵化氫等。透過整體性減排概念運用UPTIMUM廢氣處埋設備將使高科技產業製造商能符合德國當地空污排放標準(TA Luft)的嚴格標準。
UPTIMUM – 為化學氣相沉積製程所提供的高效率使用端廢氣處理設備
UPTIMUM經優化設計，最多可透過6個獨立進氣口連結不同產業領域的化學氣相沉積製程設備。該款系統能支援多種燃料氣體與水洗廢液。
規格
- 可使用不同燃料氣體
- 透過封閉循環設計減少用水量
技術資料
- 尺吋 (寬x深x高): 1525 mm x 1050 mm x 2100 mm
- 可從前方與背面拆殼進行維護與保修
- 進氣接管:最多6個DN25或4個DN40
- 出氣接管:最大可接DN100
UPTIMUM的配置選配方案
所有UPTIMUM廢氣處埋設備均提供以下設備選配方案:
- 電源供應器: 3個400 V/50 Hz或3 個 208 V/60 Hz
- 燃料氣體: 天然氣、液化石油氣
- 氧化劑:氧、CDA
- 封閉循環系統:水、鹹液
- 加熱帶與進氣口
- 製程機台介面
- 警訊燈
- 防漏盤
- 地震安全套件
- 監控
- SEMI S2認證
認證
