採用Electrostatic Filter的使用端廢氣處理設備EDC

EDC 代表 “靜電集塵系統(electrostatic dust collector)”。這些系統負責處理含有微米與奈米粉塵或懸浮微粒的製程廢氣,如太陽能板、LED、TFT薄膜電晶體、以及半導體等製程產生的廢氣。

集塵器除了能減少包括最細微之微粒高達99.9%排放量外,還能防止排氣道阻塞。集塵器可和大多數減排裝置搭配使用。可從設備的前方與背面拆殼進行維護。

EDC產品線的運作原理

廢氣會被送入前置水洗器(pre-scrubber),後面接著一個儲存槽(tank),這個儲存槽也會存放水洗廢液。前置水洗器附有噴嘴,該噴嘴除了會用水隔開氣流,還能產生渦流。之後廢氣會送至靜電集塵管,微米與奈米粉塵經過電離後會凝結在水幕上的薄膜。過濾下的微塵會懸浮在水洗廢液中。集塵設備的發射電極棒具有自動自我清洗機制。處理後的廢氣符合德國嚴格的空污排放標準(TA Luft)。

EDC/EDC PLUS – 使用端的微米與奈米粉塵減排設備

EDC 與EDC PLUS 兩款靜電集塵系統能在使用端處理含有微米與奈米粉塵或懸浮微粒的製程廢氣,每小時處理量達270 m3/h,可處理包括太陽能電池或平面顯示器(FPD/LCD)生產線產生的廢氣。該款集塵設備能減少高達99.9%氧化矽與其他微粒的排放量。

規格

  • 高效率處理含有粉塵或懸浮微粒的廢氣
  • 所有固體微粒會懸浮在廢液(無須處理乾式微塵)
  • 排放微粒量極少
  • 高度安全標準(所有關鍵參數都透過感測器監控)
  • 可連結上游廢氣處理設備

技術資料

  • 尺吋(深x寬x高): 830/1500 mm × 855/1000 mm × 2100 mm
  • 可從設備前方與背面拆殼進行維護
  • 進氣接管: DN100/DN150
  • 出氣接管: DN100/DN200

所有EDC系統都提供以下設備選配方案:

  • 電源供應器: 3 個 400 V/50 Hz 或3個 208 V/60 Hz
  • 壓力控制風扇
  • 鹹液供應系統
  • 製程機台介面連接
  • 警訊燈
  • 防漏盤
  • 地震安全套件
  • 監控
  • SEMI S2認證

認證