排ガス処理における水素の活用
半導体産業は、CO₂排出量の削減という重要な課題に直面しています。同時に、エネルギー集約型で複雑な製造プロセスを持つこの業界では、需要の増加にも対応しなければなりません。
CO₂フリー水素ソリューションで業界の排出増に挑む
ボストン・コンサルティング・グループ（BCG）の調査によると、半導体製造に伴うCO₂排出量は、成長が続けば年間約8％ずつ増加し、ピークは2045年頃になると予測されています。これは、世界の主要半導体メーカーが掲げる「温室効果ガス排出量ネットゼロ」という野心的な目標と大きく対照的です。この予測と業界のサステナビリティ目標との乖離は、半導体分野における今後の変革がいかに緊急かつ複雑であるかを示しています。
半導体業界は、再生可能エネルギーへの切り替え、生産設備のエネルギー効率改善、プロセスガス排出の削減に注力しています。さらに、サプライヤーとの緊密な連携により、バリューチェーン全体で排出量を減らす取り組みを進めています。この目標を達成するため、排ガス処理においては、CO₂フリー燃焼を可能にするグリーン水素が、化石燃料に代わる有力なエネルギー源となります。
排ガス処理における水素の利点
高温燃焼
水素の燃焼は天然ガスよりも高い最高温度を生み出し、パーフルオロカーボン（PFC）や三フッ化窒素（NF₃）といった複雑な化合物の分解を促進します。
クリーンな燃焼生成物
水素の燃焼で生じるのは水（H₂O）のみで、CO₂排出は一切ありません。これにより、燃料ガスによるシステムのCO₂フットプリントを削減できます。
DAS EEが提供する水素対応ソリューション
AS Environmental Expertsは、排ガス処理システムにおける水素活用を通じて、脱炭素化に向けた革新的なソリューションを提供しています。当社のバーナー・ウェットシステムは、グリーン水素で稼働可能であり、CO₂排出削減に大きく貢献します。
実績ある ESCAPE および STYRAX 製品ラインは、すでに水素での運転に対応しており、後付け改造も可能です。既存システムは、燃料ガストレインや一部部品の交換により、容易にアップグレードできます。
半導体業界でのグリーン水素の活用は、CO₂排出量を大幅に削減し、製造プロセスの持続可能性を高めることで、企業のESG（環境・社会・ガバナンス）目標達成を支援します。当社の水素対応排ガス処理システムを導入することで、持続可能で低炭素な生産への移行をサポートします。水素に関する豊富な経験を持つ信頼性の高いサプライヤーとして、既存システムの改造においても高品質なソリューションを提供し、サブファブでの改造負担を軽減します。
私たちと共に、半導体産業の未来を環境に優しく、効率的に形づくりましょう！
コンサルティング
水素を使ったサブファブの脱炭素化、詳しくはこちら
Regional Head of Operations DAS Japan 地域統括本部長
