パーティクルセパレーターによる排ガス処理
パーティクルセパレーターは、電場を利用して排ガス中の粒子、エアロゾル、凝縮物を除去します。微細および超微細な粉塵、さらに凝縮性有機化合物も確実かつ効率的に除去可能です。コンパクトなフィルターは省スペースで、メンテナンスも容易です。

EDC電気集塵フィルターを用いた排ガスのポイントオブユース排ガス処理
当社の電気集塵装置EDC(Electrostatic Dust Collector)は、微粒子やナノ粒子を分離する電気集塵フィルターで、粒子やエアロゾルで汚染されたプロセス排ガスを使用場所で直接処理できます。こうした排ガスは、太陽電池の製造やLED、半導体の生産工程などで発生します。