專為廢氣處理提供的客製化概念與解決方案

廢氣處理產品必須符合保護人類生命與環境的相關法律與規範。達思DAS Environmental Expert旗下各種創新解決方案致力於發掘新的潛力,藉由增強與改良處理設備、方法和流程來提升產品價值。

廢氣處理的強化解決方案

增進廢氣廢水減排觀念有許多的可能性。依照實地情況的不同,諸如空間限制、特殊材料需求、以及客戶對高科技產品抱持的理念,客戶對於環境技術的需求也會有所差異。

達思DAS Environmental Expert旗下解決方案之首要目標,便是因應逐漸增加的安全參數、節約成本及能源的潛力、以及頂尖的卓越服務。

IPAS – 整合泵機與廢氣處理設備解決方案

 

藉由IPAS概念 (Integrated Pump and Abatement Solution),達思DAS Environmental Expert著手擴充旗下廢氣處理方案,將廢氣處理設備與閥件裝入同一個機櫃中,完成整合式解決方案。這種概念運用在所有DAS達思系統的廢氣處理廠。客戶除了可自由選擇泵機供應商,還能加裝選購的吸附觸媒的處理設備(absorber cartridges)來處理微塵。

縮短泵機與廢氣處理設備之間的管線能降低洩漏與阻塞的風險。相較於採用兩個獨立系統,這種組合式解決方案不僅減少佔用空間,而且可透過一個共用介面操作。

強化安全需求的解決方案

DAS達思系統能處理易燃性、腐蝕性、有毒、以及具化學反應性等廢氣,以及其他類似的材料。因此減排處理過程中,安全便成為首要任務。DAS達思系統內的精密感測器技術能全程監控系統狀況。此外,我們還為客戶提供多元化的個別選項,包括:

  • SEMI S2認證: SEMI S2針對半導體製造設備規範了環境、健康、安全性方面的條款。DAS廢氣處理系統除了遵循這些條款,每項系統在出廠前還可依客戶選擇進行認證審查。
  • 備援功能: 當進行維護保養時,我們的DUO-systems(備援系統)能將氣流轉到系統內的第二燃燒爐。
  • IPAS-概念: 將廢氣處理與泵機整合成單一系統,能縮短系統元件之間的連結管道,進而降低洩露與阻塞的風險。
  • 雙系統保護: 多腔室生產設備對廢氣處理廠的容量衍生出許多新的挑戰。我們為此發展出雙系統型產品TILIA。在客戶要求下,我們並裝設了一道不銹鋼材質隔牆來分隔兩個系統。
  • 提高功能安全性: 在新產品研發與產品演進方面,DAS達思系統推出了Safety SPS,這種連續控制機制結合失效安全技術,不僅提高工廠安全性,還能簡化與加速故障排除流程。

提高製程穩定度

當所有流程運行順暢並達到理想的吞吐量時,高科技製造商便能達到最高效率狀態。由於使用端廢氣處理設備直接連結到製程設備,因此處理系統的運行時間會對生產線造成直接的影響。

DAS達思系統的備援解決方案可確保運行順暢無阻,當燃燒爐需要進行定期維護時,它會將廠內的氣體流轉送到備用燃燒爐。此種備援技術可確保DAS達思系統的廢氣處理廠能達到99.9%的稼動率(availability)。

憑藉此解決方案,輔以我們最尖端技術的發展,我們成功解決了製程穩定度的難題。DAS達思系統的廢氣處理設備SALIX能為晶圓濕式洗淨製程提供廢氣減排。直到最近,由於這些廢氣都是透過切換箱(switching boxes)直接輸送到對應的廢氣處理系統,因此在轉換製程時便缺乏調整彈性。反觀SALIX,製程設備中的所有製程腔室都直接連到廢氣處理設備SALIX,待製程氣體處理後再排放至客戶端的中央排氣管道。

節能潛力

廢氣處理設備節省能源的最大潛力點,在於直接連結廢氣處理系統與製程主機台。我們採用不會冒出火花的無電動勢接點,或是乙太網路來進行連結,舉例而言,廢氣處理設備可以調整燃燒爐的處理量或切換至閒置模式。實行這項概念能省下超過20%的能源。更重要的是,這種方法能優化燃燒氣體(例如: 天燃氣)、以及氧化劑(壓縮空氣、壓縮乾燥空氣(CD)、氧氣、水、冷卻水、碱液)的使用量。

緊密銜接的服務

 

主動資料分析的重要性逐日攀升,因為其能在發生系統失效之前及早偵測出系統問題並提出解決方案。達思DAS Environmental Expert在主動資料分析方面已研發出多元解決方案。